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酸化アルミニウム(アルミナ、Al2O3)は、優れた電気絶縁性、高硬度、耐熱性、化学的安定性を兼ね備えた、最も汎用性の高いファインセラミックスです。Stanford Advanced Materials (SAM) は、半導体製造装置、電子部品、高温炉、研究開発など、多岐にわたる産業ニーズに対応する高品質なアルミナ製品を提供しています。
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アルミナ基板・ディスク
用途: 電子部品の絶縁基板、ヒーター台板、放熱板。
特長: 高純度(99%~99.9%)、高平坦度、各種厚み・寸法対応。
アルミナチューブ・ロッド
用途: 熱電対保護管、炉心管、絶縁スペーサー、構造部材。
特長: 高耐熱性、高絶縁性、高純度。
アルミナ精密部品・受託加工品
用途: CVD・半導体装置部品、治具、実験用るつぼ・ボート。
特長: 複雑形状への精密加工対応、高純度アルミナ使用。
アルミナ粉末・媒体
用途: セラミック原料、研磨材、コーティング材、充填材。
特長: α化率、粒径分布の調整可能、高純度グレードあり。
高い電気絶縁性: 高電圧環境下でも優れた絶縁性能を発揮。
優れた耐熱性・耐熱衝撃性: 最高使用温度1700℃以上、急熱急冷に強い。
高い機械的強度と硬度: モース硬度9、摩耗や変形に強い。
優れた化学的安定性: 酸・アルカリに強く、汚染のない安定したプロセスを実現。
高純度化が可能: 99.6%から99.99%以上の超高純度品も対応。
半導体・電子機器産業: ウェハー処理用部品(CVDボート、スペーサー)、パワーモジュール用絶縁基板、センサー部品。
工業炉・熱処理: 熱電対保護管、炉内チューブ、断熱材(アルミナフォーム)。
機械部品・耐摩耗部品: シール部品、ベアリング、ガイド、ノズル。
研究開発・実験器具: 実験用るつぼ、乳鉢、粉砕ボール、セラミックフィルター。
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