炭化ケイ素コーティング黒鉛トレイ 説明
炭化ケイ素コーティング黒鉛トレイは、化学気相成長（CVD）プロセスにより、高純度等方性グラファイトの表面を炭化ケイ素の微細な層でコーティングして作られます。SiCコーティンググラファイトトレイは、半導体やコーティングに広く使用されています。
CVDプロセスにより、気孔のない極めて高純度かつ理論密度の高いSiCコーティングが得られます。さらに、炭化ケイ素は非常に硬いため、鏡のように磨くことができます。CVD炭化ケイ素(SiC)コーティングは、超高純度の表面と非常に高い耐摩耗性など、いくつかの利点をもたらしました。コーティングされた製品は、高真空や高温環境でも優れた性能を発揮するため、半導体産業やその他の超クリーンな環境での用途に最適です。
スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズは、炭化ケイ素コーティング黒鉛トレイも提供しています。
炭化ケイ素コーティング黒鉛トレイ仕様
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化合物式
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SiC
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分子量
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40.1
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外観
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黒色
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融点
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2,730℃（4,946℉）（分解する）
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密度
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3.0～3.2 g/cm3
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電気抵抗率
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1～4 10倍Ω・m
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ポアソン比
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0.15 から 0.21
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比熱
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670～1180J/kg・K
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コーティング厚さ
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50~500um
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炭化ケイ素コーティング黒鉛トレイの利点
- 炭化ケイ素層は非常に硬く、高温でも安定している。耐酸化性、耐食性、耐薬品性に優れています。
- SiCコーティング黒鉛は、黒鉛粒子の分離や飛散、黒鉛マトリックス中のガスや不純物の放出を防ぎます。
炭化ケイ素コーティング黒鉛トレイの用途
- CVD炭化ケイ素コーティングは、窒化ケイ素が優れた耐熱衝撃性を持ち、高エネルギープラズマに耐えることができるため、MOCVDトレイ、RTP、酸化物エッチングチャンバーなど、すでに半導体産業で応用されています。
- 炭化ケイ素は、半導体やコーティングに広く使用されています。
炭化ケイ素コーティング黒鉛トレイ包装
当社の炭化ケイ素コーティング黒鉛トレイは、保管や輸送中の損傷を最小限に抑え、製品の品質を元の状態で維持するために慎重に取り扱われています。
炭化ケイ素コーティング黒鉛トレイに関するFAQ
Q1: 炭化ケイ素コーティング黒鉛トレーの主な特徴は何ですか？
A1:炭化ケイ素(SiC)コーティング黒鉛トレイは、黒鉛の優れた高温耐性と、SiCコーティングによる耐食性と酸化防止を兼ね備えています。高温炉、冶金、セラミックス産業で広く使用され、優れた化学的安定性と耐摩耗性を提供します。
Q2: このトレイの最高使用温度は？
A2: 炭化ケイ素コーティング黒鉛トレイは、トレイのサイズとコーティングの厚さにもよりますが、通常1600℃までの温度に耐えることができます。
Q3: SiCコーティングはどのようにトレイの性能を向上させるのですか？
A3: SiCコーティングは、高温酸化からグラファイト製トレイを保護し、耐薬品腐食性を大幅に向上させます。この保護層は過酷な環境下での表面劣化を防ぎ、トレイの寿命を延ばします。
