生産中止 IF5726 (販売終了) 950C CSS および RTP 炉 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

カタログ番号	IF5726
商品番号	OTF-1200X-RTP-II-CSS-300
動作温度	950℃

生産終了

950C CSS/RTP炉は、直径12インチまでのウェハーへの近接昇華(CSS)膜コーティング用に特別に設計された最先端の急速熱処理(RTP)炉です。Stanford Advanced Materials (SAM)は、高品質のRTP炉の製造と供給において豊富な経験を有しています。

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特徴	内径20インチのステンレス製真空チャンバーは、ターボポンプにより10^-5 torrの真空度を達成。熱分布を最適化するため、チャンバー内に戦略的に配置された2枚の12インチ赤外線（IR）加熱プレート。 0.1℃以内の温度精度を保証するユーロサーム精密温度コントローラー。すべての処理パラメーターを包括的に制御できるタッチスクリーン式コンピューター。
基本パラメーター	最高温度加熱温度：950 最大加熱温度2つのヒーター間の温度差: ≤ 300 マックス。加熱速度8℃/s マックス。冷却速度：<20℃/秒
電源	208 - 240VAC、三相、50/60 Hz 60kw
真空チャンバー	チャンバー寸法内径500mm x 高さ460mm 直径60mmの石英窓が2つあり、観察が容易。高真空下で蒸発源を遮断するため、気密性の高いスライディングバッフルを1枚内蔵しています。精密防錆デジタル真空計を標準装備し、正確な真空測定を保証します。オプションの真空ポンプ：ターボポンプによる10-5torrまたは機械式ポンプによる10-2torr
ヒーターとサンプルホルダー	2つのIRヒーターがチャンバーの上部と下部にあり、ギャップは2～25mmまで調整可能です。ヒーターはステンレス製で、保温のため水冷ジャケットが付いています。 12インチ径の円形ウェハーホルダーは、基板を保持するために上部ヒーターに組み込まれています。グラファイトプレートはIRヒーターの上部に置かれ、加熱をより均一にします。トップサンプルホルダーは1～10RPMの範囲で回転可能。ヒーター冷却用に58L/分の循環式ウォーターチラーが付属しています。
制御システム	24セグメントプログラム可能な2台のユーロサーム3000デジタル温度コントローラーにより、+/-0.1℃の精度で上部ヒーターと下部ヒーターを独立制御。温度プロファイル、真空圧、回転数、回転速度、フランジの持ち上げなど、すべての操作はPLCを介してタッチスクリーンのコンピューターで制御されます。コンピューターは、温度と真空のプロファイルを表示し、あらかじめ設定された10種類の処理プログラムを表示することができます。
正味重量	~500 kg
寸法	長さ1450 X 幅1250 X 高さ2100 mm
保証	1年間の限定保証と生涯サポート注意：腐食性ガスや酸性ガスの使用に起因する損害は、SAM1年限定保証の対象外となります。
認証	CE認証 NRTLまたはCSA認証は別途費用にて取得可能です。

特徴	内径20インチのステンレス製真空チャンバーは、ターボポンプにより10^-5 torrの真空度を達成。熱分布を最適化するため、チャンバー内に戦略的に配置された2枚の12インチ赤外線（IR）加熱プレート。 0.1℃以内の温度精度を保証するユーロサーム精密温度コントローラー。すべての処理パラメーターを包括的に制御できるタッチスクリーン式コンピューター。
基本パラメーター	最高温度加熱温度：950 最大加熱温度2つのヒーター間の温度差: ≤ 300 マックス。加熱速度8℃/s マックス。冷却速度：<20℃/秒
電源	208 - 240VAC、三相、50/60 Hz 60kw
真空チャンバー	チャンバー寸法内径500mm x 高さ460mm 直径60mmの石英窓が2つあり、観察が容易。高真空下で蒸発源を遮断するため、気密性の高いスライディングバッフルを1枚内蔵しています。精密防錆デジタル真空計を標準装備し、正確な真空測定を保証します。オプションの真空ポンプ：ターボポンプによる10-5torrまたは機械式ポンプによる10-2torr
ヒーターとサンプルホルダー	2つのIRヒーターがチャンバーの上部と下部にあり、ギャップは2～25mmまで調整可能です。ヒーターはステンレス製で、保温のため水冷ジャケットが付いています。 12インチ径の円形ウェハーホルダーは、基板を保持するために上部ヒーターに組み込まれています。グラファイトプレートはIRヒーターの上部に置かれ、加熱をより均一にします。トップサンプルホルダーは1～10RPMの範囲で回転可能。ヒーター冷却用に58L/分の循環式ウォーターチラーが付属しています。
制御システム	24セグメントプログラム可能な2台のユーロサーム3000デジタル温度コントローラーにより、+/-0.1℃の精度で上下ヒーターを独立制御温度プロファイル、真空圧、回転数、回転速度、フランジの持ち上げなど、すべての操作はPLCを介してタッチスクリーンのコンピューターで制御されます。コンピューターは、温度と真空のプロファイルを表示し、あらかじめ設定された10種類の処理プログラムを表示することができます。
正味重量	~500 kg
寸法	長さ1450 X 幅1250 X 高さ2100 mm
保証	1年間の限定保証と生涯サポート注意：腐食性ガスや酸性ガスの使用に起因する損害は、SAM1年限定保証の対象外となります。
認証	CE認証 NRTLまたはCSA認証は別途費用で取得可能です。

生産中止 IF5726 (販売終了) 950C CSS および RTP 炉 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

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950C CSS/RTP炉 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 の説明

950℃CSS・RTP炉 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300の仕様

950C CSSおよびRTP炉 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 アプリケーション

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