サマリウムプラナーターゲットの説明
スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)は 、サマリウム(Sm)の卓越した磁気特性、熱安定性、耐酸化性を活用するように設計された、プレミアムサマリウムプラナースパッタリングターゲットの製造を専門としています。融点1,072℃の希土類金属であるサマリウムは、自然に自己保護酸化物層を形成し、薄膜蒸着プロセスにおける長時間の動作信頼性を保証します。綿密に設計されたターゲットの微細構造は、安定したスパッタリング性能を保証し、高度に制御された再現性の高い成膜を可能にします。
厳格な品質保証プロトコルの下で製造されたSAMのサマリウムターゲットは、特殊なコーティング仕様に合わせるために、純度グレード(99.9%~99.99%)と寸法をカスタマイズすることができます。強固な界面接着性や耐食性など、その固有の材料の利点は、耐摩耗性または磁気光学コーティングを必要とする高度なアプリケーションに理想的です。SAMの希土類冶金における数十年の経験により、これらのターゲットは精密な最適化が施され、研究、半導体、工業用コーティングシステムにおいて業界をリードする蒸着均一性とプロセス収率を実現します。複雑な薄膜工学の課題に対応するため、技術サポートとオーダーメイドの構成が可能です。
サマリウム平面ターゲット仕様
特性
純度
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99.9%
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理論密度
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7.353 g/cm3
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融点
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1072 ℃
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沸点
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1791 °C
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製品形状
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長方形、またはご要望に応じてカスタマイズ
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製品サイズ
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カスタマイズ
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*上記の製品情報は理論データに基づくものです。具体的なご要望や詳細については、お問い合わせください。
サマリウム平面ターゲットの用途
1.磁性薄膜および光磁気ストレージ:
Smの強力な磁気光学効果(例:ファラデー回転)を利用して、高密度データストレージや光アイソレータ用の光磁気ディスク(MOディスク)に使用。
磁気トンネル接合(MTJ)や磁気抵抗効果型RAM(MRAM)のようなスピントロニクス・デバイスに応用され、高性能コンピューティングや低消費電力メモリに利用される。
2.半導体およびマイクロエレクトロニクス:
ホールセンサーや磁気抵抗効果デバイスのSm系薄膜として成膜され、磁場感度を向上させる。
集積回路の拡散バリア層や機能性コーティングとして機能し、高温安定性や耐酸化性を向上させる。
3.光学コーティング:
赤外(IR)光学部品(レーザーミラー、IRウィンドウなど)に使用される。
反射防止多層膜を形成し、精密光学部品の光透過率と耐久性を最適化する。
4.耐摩耗・保護コーティング:
耐食性、耐高温酸化性、硬度を向上させるため、航空宇宙部品(タービンブレードなど)や産業用工具に適用される。
5.研究・新技術:
高温超電導研究のためのサマリウム化合物(SmFeAsOなど)の薄膜作製を可能にする。
原子炉材料の中性子吸収コーティングや表面改質に使用される。
サマリウム平面ターゲットの包装
当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな商品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな商品は特注の木箱に入れられます。当社は、輸送中に最適な保護を提供するために、包装のカスタマイズと適切な緩衝材の使用を厳守します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。
製造工程
1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法
- 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
- 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
- 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
- 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
- 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。
サマリウム平板ターゲットに関するFAQ
Q1: 寸法や形状の特注は可能ですか?
A1: はい。直径(50~200mm)、厚さ(3~10mm)、接合構成(Cu/Agバッキングプレートなど)のカスタマイズに対応しています。ラピッドプロトタイピングの仕様をご提出ください。
Q2: サマリウムターゲットの一般的な寿命はどのくらいですか?
A2: 寿命はスパッタリングパラメータ(パワー、ガス圧)に依存しますが、当社の微細構造(粒径50μm以下)は標準的なDC/RFスパッタリング条件下で85%以上の材料利用率を保証します。
Q3: サマリウムターゲットはどのように保管、取り扱えばよいですか?
A3: 表面の酸化を防ぐため、乾燥した不活性ガス(Ar/N₂)環境で保管してください。汚染を避けるため、取り扱い時には手袋を使用してください。スパッタリング前の洗浄プロトコルを推奨します。
競合製品との性能比較表
サマリウムロータリーターゲットとサマリウムプレーナターゲットの比較
特徴
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サマリウムロータリーターゲット
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サマリウム平面ターゲット
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材料利用
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最大80-90
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約30-40
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耐用年数
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長く、交換頻度が減る
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より短く、より頻繁な交換が必要
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コーティングの均一性
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均一性が高く、大面積コーティングに最適
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厚みにばらつきがある場合がある
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製造コスト
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初期コストは高いが、長期的には経済的
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イニシャルコストは低いが、交換頻度が高い
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用途
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大面積コーティング(TFT-LCD、太陽電池、光学コーティング)
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小面積コーティング(半導体、精密電子機器)
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スパッタリング安定性
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安定性が高く、材料ロスが少ない
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浸食ムラによる安定性低下の可能性あり
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対応装置
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回転式スパッタリング装置が必要
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従来の平面スパッタリング装置と互換性あり
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関連情報
- 原料-サマリウム
サマリウム(Sm)は、原子番号62、原子量150.36の希土類金属である。銀白色の金属で、中程度に硬く脆く、融点は1,072℃(1,962°F)である。サマリウムは酸素と容易に反応し、さらなる腐食からそれを保護するのに役立ちます酸化物層を形成する。希土類元素に分類されているにもかかわらず、サマリウムは比較的豊富で、主にモナザイトやバストネサイトなどの鉱物から抽出される。
サマリウムはその強力な磁気特性で最もよく知られており、高性能磁石、特に高い熱安定性と減磁への耐性で珍重されるサマリウム-コバルト(SmCo)永久磁石の主要成分となっています。また、赤外線を吸収し、材料特性を向上させるサマリウムの特性により、光学および電子用途においても重要な役割を果たしている。さらに、サマリウム化合物は、その中性子吸収能力により、特殊セラミック、ガラス製造、および原子力用途に使用されています。磁気的強度、熱的安定性、耐薬品性を併せ持つサマリウムは、先端技術や材料科学において極めて重要な元素である。
仕様
プロパティ
純度
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99.9%
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理論密度
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7.353 g/cm3
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融点
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1072 ℃
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沸点
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1791 °C
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製品形状
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長方形、またはご要望に応じてカスタマイズ
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製品サイズ
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カスタマイズ
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*上記の製品情報は理論データに基づくものです。具体的なご要望や詳細については、お問い合わせください。