ユーロピウムプラナーターゲットの説明
スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)は 、高度な薄膜蒸着プロセス用に精密に設計されたユーロピウム・プラナー・スパッタリングターゲットを提供しています。これらのターゲットは、高純度ユーロピウムメタル(標準グレード:99.9%~99.99%)から製造され、最適な密度(理論密度95%以上)と微細構造(粒径50 µm未満)を達成するために厳密に処理され、安定したスパッタリング性能と最小限のパーティクル排出を保証します。
主な特徴は以下の通り:
カスタマイズ:最大直径200 mm、厚さ3~10 mmまで対応可能で、オプションで熱管理用の銅/バッキングプレートとの接合も可能。
酸化制御:アルゴン充填の真空密閉容器で包装し、表面の完全性を保ち、酸化膜の形成を最小限に抑えます。
品質保証各ターゲットは、ISO 9001およびASTM規格に準拠したXRD結晶学的分析、ICP-MS不純物プロファイリング、および密度試験を受けます。
技術サポート:SAMは、成膜パラメータのガイドライン(RF/DCスパッタリングの最適化など)と購入後のトラブルシューティング支援を提供します。
ユーロピウム平面ターゲット仕様
純度
|
99.9%
|
理論密度
|
5.24 g/cm3
|
融点
|
822 ℃
|
製品形状
|
長方形、またはご要望に応じてカスタマイズ
|
製品サイズ
|
カスタマイズ
|
*上記の製品情報は理論的なデータに基づいています。具体的なご要望や詳細については、弊社までお問い合わせください。
ユーロピウム平面ターゲット用途
1.照明・ディスプレイ用蛍光体材料 2.
赤色発光蛍光体:Eu³⁺ドープ薄膜(例えば、Y₂O₃:Eu³⁺、Eu:YAG)は、LED、蛍光灯、プラズマディスプレイに使用され、高効率の赤色光を発生する。
量子ドット・ディスプレイ:Euベースのコーティングは、次世代QLED/OLEDスクリーンの色純度と安定性を高める。
2.光学セキュリティと偽造防止:
酸化ユーロピウム(Eu₂O₃)フィルム:銀行券、証明書、製品ラベルに組み込まれ、UVトリガーによる発光マーキングが可能。
3.放射線検出とイメージング:
シンチレーター層:X線検出器や医療用画像システムにおけるEuドープ膜(例:Eu:LiF)は、放射線を可視光に変換する。
4.原子力産業:
中性子吸収コーティング:Eu-151同位体(中性子捕獲断面積が高い)は、中性子束制御のために原子炉部品にスパッタリングされる。
5.研究・新技術
スピントロニクス:EuO(一酸化ユーロピウム)薄膜は、スピン偏極電子デバイス用の強磁性特性を示す。
バイオメディカルセンサー:Eu³⁺ベースの蛍光プローブで、高感度のDNAやタンパク質の検出を行うバイオセンサー。
ユーロピウム平面ターゲットの包装
当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されます。小さな製品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな製品は特注の木枠に入れられます。包装のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用することで、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。
製造工程
1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法
- 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
- 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
- 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
- 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
- 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。
ユーロピウム平板ターゲットに関するFAQ
Q1: 保管中や輸送中の酸化はどのように防止されていますか?
A1: ターゲットは、表面の酸化を最小限に抑えるため、乾燥剤パックとともにアルゴン充填容器に真空密封されています。保管ガイドライン(乾燥不活性ガス環境)は納品時に同梱されています。
Q2: ユーロピウムターゲットはどのような用途に最適ですか?
A2: 主な用途としては、赤色蛍光体フィルム(LED/ディスプレイ)、UV活性セキュリティマーキング、放射線シンチレーター、中性子吸収コーティング(Eu-151同位体を使用)などがあります。
Q3: SAMのユーロピウムターゲットは、私のスパッタリングシステムと互換性がありますか?
A3: 標準的なISO/KFフランジ構成用に設計されており、ほとんどの商用システム(マグネトロンスパッタリングなど)と互換性があります。アダプターソリューションや非標準セットアップについてはお問い合わせください。
競合製品との性能比較表
ユーロピウムロータリーターゲットとユーロピウムプレーナターゲットの比較
特徴
|
ユーロピウムロータリーターゲット
|
ユーロピウム平面ターゲット
|
材料利用率
|
最大80-90
|
約30-40
|
耐用年数
|
長く、交換頻度を低減
|
より短く、より頻繁な交換が必要
|
コーティングの均一性
|
均一性が高く、大面積コーティングに最適
|
厚みにばらつきがある場合がある
|
製造コスト
|
初期コストは高いが、長期的には経済的
|
イニシャルコストは低いが、交換頻度が高い
|
用途
|
大面積コーティング(TFT-LCD、太陽電池、光学コーティング)
|
小面積コーティング(半導体、精密電子機器)
|
スパッタリング安定性
|
安定性が高く、材料ロスが少ない
|
浸食ムラによる安定性低下の可能性あり
|
対応装置
|
回転式スパッタリング装置が必要
|
従来の平面スパッタリング装置と互換性あり
|
関連情報
- 原材料-ユーロピウム
ユーロピウム(Eu)は、原子番号63、原子量151.96の希土類金属である。銀白色の柔らかい金属で、特に空気や湿気との反応性が高く、取り扱いや保管に注意が必要です。ユウロピウムの融点は826℃(1,519°F)と他の希土類元素に比べて比較的低く、優れた光学特性と発光特性で知られている。
ユウロピウムの最も顕著な特徴のひとつは、明るい赤色と青色の蛍光を発する能力であり、LEDディスプレイ、テレビ、蛍光灯の蛍光体に不可欠な成分となっている。ユーロピウムをドープした材料は、レーザー、セキュリティーマーク、医療用画像処理にも広く使われている。さらに、ユーロピウムには中性子を吸収する性質があり、原子炉の制御棒に利用されている。そのユニークな電子構造と高い反応性により、ユーロピウムは高度な光学、電子、エネルギー関連の用途で重要な役割を果たしている。
仕様
純度
|
99.9%
|
理論密度
|
5.24 g/cm3
|
融点
|
822 ℃
|
製品形状
|
長方形、またはご要望に応じてカスタマイズ
|
製品サイズ
|
カスタマイズ
|
*上記の製品情報は理論的なデータに基づいています。具体的なご要望や詳細については、お問い合わせください。