ST6570 ベリリウムスパッタリングターゲット Be

ベリリウムスパッタリングターゲットBeの説明

ベリリウムスパッタリングターゲット(Be) は、低密度(1.85 g/cm³)、高剛性、優れた熱伝導率(~200 W/m-K)、低熱膨張係数(~11.3 × 10-⁶/K)を特徴とする高性能材料です。一般的な純度は99.9%以上で、スパッタリングプロセスにおける化学的安定性と均一性を保証します。また、ベリリウムは優れた機械的強度を持ち、様々な蒸着システムに対応できるよう、様々な形状やサイズに精密に加工することができます。熱伝導率が高いため、効率的な熱放散が可能であり、温度変化に対する寸法安定性が高いため、膜の密着性と均一性が向上する。ターゲット表面は、優れた平滑性と膜厚の均一性を達成するために細かく研磨されています。すべての材料は、酸化と汚染を防ぐために真空密閉されています。

ベリリウムスパッタリングターゲットBe仕様

特性

化学組成%

*上記の製品情報は理論値に基づいています。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。

サイズカスタマイズ

ベリリウムスパッタリングターゲットBe用途

• 半導体およびマイクロエレクトロニクス産業：導電層、緩衝層、界面層などの特殊機能膜の製造に使用され、特に高い重量と熱安定性が要求される小型デバイスに適しています。
• オプトエレクトロニクスおよび光学部品ベリリウム膜は、レーザー、光学センサー、その他のデバイス用の高反射率反射膜またはIR/UVウィンドウコーティングの製造に使用される。
• 航空宇宙材料：宇宙船や人工衛星の部品に軽量で高強度のコーティングを施し、熱制御性能を向上させ、構造重量を軽減する。
• 防衛・軍事技術レーダー、赤外線イメージング、精密誘導システムなどの薄膜部品の製造に使用され、その熱特性と機械的安定性を活用する。
• 原子力産業：ベリリウムは、中性子反射体および減速材として原子炉で重要な用途があり、ターゲットは薄膜製造または関連実験に使用できる。

ベリリウムスパッタリングターゲットBe包装

当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな製品はPPボックスでしっかりと梱包され、大きな製品は特注の木枠に入れられます。梱包のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用することで、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。

製造工程

1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法

1. 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
2. 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
3. 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
4. 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
5. 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。

ベリリウムスパッタリングターゲットBeに関するFAQ

Q1: ベリリウムスパッタリングターゲットの一般的な純度を教えてください。

A1: 当社の標準的なベリリウムスパッタリングターゲットは99.9%以上の純度で提供されています。ご要望に応じて、より高い純度でのご提供も可能です。

Q2: ターゲットの形状やサイズのカスタマイズは可能ですか？

A2: はい、特定のシステム要件を満たすために、直径、厚さ、形状（円形、長方形、リング）、バッキングプレートの統合を含む完全なカスタマイズを提供します。

Q3: ベリリウムの取り扱いは危険ですか？

A3: はい。ベリリウムは、粉塵やガスとして吸い込むと有毒です。すべての取り扱いと加工は、換気の良い環境またはヒュームフードの下で、厳格な安全プロトコルに従わなければなりません。当社の製品は、曝露を防ぐため、固体の状態で真空密封された状態で出荷されます。

競合製品との性能比較表

ベリリウムスパッタリングターゲットと競合材料の比較：性能比較

関連情報

ベリリウム（Beryllium）元素概要

ベリリウムは軽金属元素（原子番号4、記号Be）で、1798年にフランスの化学者ヴォークランがベリルから発見し命名した。周期表で2番目に軽い金属（密度はリチウムに次いで1.85g/cm³）であるベリリウムは、その重さに見合わない驚くべき特性を示す。弾性率は287GPaで、鋼鉄の6倍の強靭さを持ち、熱伝導率は銀、銅、金に次いで極めて高い（200W/m・K）。この「低密度、高剛性、高熱伝導性」というユニークな組み合わせにより、極端な産業シーンにおける「スター素材」となっているが、その毒性、高コスト、加工の難しさにより、その応用範囲は大きく制限されている。

コア特性と科学的価値

低原子番号の貫通利点

ベリリウムの原子核には陽子が4つしかなく（Z=4）、X線や中性子の吸収率が非常に低い。この性質は、放射光装置やX線窓の中心材料、原子炉の理想的な中性子反射層となる。例えば、医療用CT装置のX線検出器の窓をアルミニウムやガラスで作ると、画像解像度が著しく低下するのに対し、ベリリウムの窓は極めて薄い厚さ（<1 mm）でほぼ無損失の光線透過を実現できる。

極限環境下での安定性

ベリリウムの融点は1,287℃で、高温下でも酸化ベリリウム（BeO）の保護層を維持し、アルミニウムやマグネシウムのような軽金属をはるかに凌ぐ耐食性を発揮します。この特性から、ロケットのノズルや核燃料棒のケーシング材に使用される高温耐性のあるコーティング材として使用されている。米国の火星探査機キュリオシティは、火星の極端な温度と放射線に耐えるため、原子力電池（RTG）にベリリウム合金を使用している。

航空宇宙分野におけるかけがえのない役割

人工衛星や宇宙望遠鏡の設計では、ベリリウムの高い比剛性（剛性/密度）が、軽量化と構造強度の間の緊張を解消します。例えば、ジェイムズ・ウェッブ宇宙望遠鏡の18枚の主鏡はベリリウム製で、従来のガラスやセラミックでは熱膨張や熱収縮によって像が歪んでしまうのに対し、-240℃の深宇宙環境でも変形がほとんどない。同様に、大陸間ミサイルの慣性航法ジャイロスコープも、高速での寸法安定性を確保するためにベリリウム製コンポーネントに依存している。

用途と課題

ベリリウムの産業用途は、ハイエンドの「必需品」分野に非常に集中している：

原子力と防衛: 中性子減速機、核爆弾イニシエーター（ベリリウムの光電子反応特性を利用）；

精密光学：高エネルギーレーザー用ミラー、赤外線サーマルイメージャー用ミラーベース；

特殊合金：2％のベリリウムを含むベリリウム銅合金は、石油・ガス掘削工具用の高強度とノンスパーキング特性を兼ね備えている。ベリリウムを2％含むベリリウム銅合金は、高強度とノンスパーキング特性を兼ね備えており、石油・ガス掘削工具や防爆機器に使用されている。