ST6577 コバルト・クロム・モリブデンターゲット（CoCrMoターゲット）

コバルトクロムモリブデンターゲット（CoCrMoターゲット）の説明

コバルトクロムモリブデンターゲット（CoCrMoターゲット）は、卓越した機械的完全性と化学的安定性で知られる高強度、耐食性合金スパッタリング材料です。この三元合金は、コバルト、クロム、モリブデンのそれぞれの長所を組み合わせ、過酷な条件下で卓越した構造性能を発揮する材料を作り出します。コバルトは主要マトリックス元素として、優れた耐摩耗性、高温強度、固有の靭性を提供する。クロムは、表面に安定した不動態酸化物層（Cr₂O₃）を形成することで耐食性に大きく寄与し、酸性および酸化性の両環境における酸化および化学的攻撃から材料を保護する。モリブデンは、高温での合金の強度を高め、硬度を向上させ、特に塩化物を多く含む環境や還元性環境での孔食や隙間腐食に対する耐性をさらに向上させる。CoCrMoの微細構造は通常、粉末冶金または真空溶解技術によって微細化され、粒径が制御され、気孔率が最小の緻密で均質な材料が得られる。この合金は、高い溶融挙動（組成により約1300～1400℃）、中程度の熱伝導率、一般的な基材と互換性のある熱膨張係数を示し、スパッタリング中の安定性を確保する。電気抵抗率は適度に低く、均一な薄膜形成に適している。全体として、CoCrMoターゲットは優れた熱的、機械的、化学的特性を示し、精密で安定した蒸着プロセスにおいて高い信頼性を発揮する。

コバルトクロムモリブデンターゲット（CoCrMoターゲット）の仕様

特性

*上記製品情報は理論値です。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。

サイズカスタマイズ

コバルトクロムモリブデンターゲット（CoCrMoターゲット）用途

• バイオメディカルコーティング：CoCrMoは、その優れた生体適合性、耐摩耗性、体液中での耐腐食性により、整形外科や歯科インプラントのコーティングに広く使用されています。CoCrMoは、補綴物の寿命と生体機能の向上に貢献します。
• 航空宇宙・タービン部品（保護膜）：CoCrMoから作られた薄膜は、エンジン部品やタービンブレードに適用され、表面の耐久性、耐熱性、高ストレス・高温環境下での性能を向上させる。
• マイクロエレクトロニクスとMEMSデバイス：合金の安定性と適度な電気抵抗率は、磁性薄膜、微小電気機械システム（MEMS）、および機械的完全性と耐食性が重要なその他の電子用途に有用です。
• 耐摩耗性コーティング：CoCrMoスパッタリング層は、産業用工具、切削器具、摺動部品に使用され、特に過酷な化学的・機械的環境において優れた硬度と耐摩耗性を発揮します。
• 化学処理装置の表面工学：CoCrMoの薄膜コーティングは、特に機械的強度と耐食性の両方が必要とされる、腐食性または侵食性の化学流にさらされるバルブ、リアクター、ポンプの表面の保護に役立ちます。

コバルトクロムモリブデンターゲット（CoCrMoターゲット）包装

当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな製品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな製品は特注の木枠に入れられます。包装のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用して、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。

製造工程

1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法

1. 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
2. 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
3. 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
4. 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
5. 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。

コバルトクロムモリブデンターゲット（CoCrMoターゲット）FAQ

Q1: CoCrMoターゲットはどのように製造されますか？

A1: 真空アーク溶解や粉末冶金と熱間静水圧プレス(HIP)を組み合わせることにより、高密度、低気孔率、優れた組成均一性を実現しています。

Q2: CoCrMoターゲットと互換性のあるスパッタリング方法を教えてください。

A2: CoCrMoターゲットは、DCおよびRFマグネトロンスパッタリングシステムと互換性があります。プロセスパラメータは、膜厚や基板材料によって異なる場合があります。

Q3: ターゲットのサイズや形状を特注できますか？

A3: はい。平面ターゲット、円形ターゲット、長方形ターゲット、回転ターゲット、バッキングプレートやボンディングサービスのオプションなど、幅広いカスタマイズが可能です。

競合製品との性能比較表

CoCrMoターゲット vs Tiターゲット vs ステンレス鋼ターゲット

関連情報

1. 原料-コバルト

物理的性質

- 密度：～8.90 g/cm³

- 融点： 1495°C

- 沸点：2927

- 磁性1115℃（キュリー温度）まで強磁性で、磁性材料に適している。

- 外観わずかに青みを帯びた明るい銀灰色。

化学的性質

- コバルトは酸化に強く、不動態酸化物層の形成により空気中で安定性を保つ。

- コバルトは、一般に化合物（Co²⁺とCo³⁺）中で+2と+3の酸化状態を示し、多種多様な酸化物、塩化物、硫酸塩を形成する。

- コバルト化合物は一般的に強く着色する（例えば、CoAl₂O₄からのコバルトブルー）。

工業的役割

- 超合金：コバルトは、タービンブレードや航空宇宙部品の高温強度と耐酸化性を向上させるために広く使用されている。

- 磁性材料：AlNiCo、サマリウムコバルト、その他の永久磁石の主要成分として、コバルトは電子機器や電気モーターで重要な役割を果たしています。

- 電池：コバルトは、その優れた電気化学的性能により、リチウムイオン電池の正極（LiCoO₂など）に使用されています。

- スパッタリングターゲットと薄膜：コバルトとその合金は、磁性、耐摩耗性、耐腐食性コーティング用の薄膜蒸着に使用される。

その他の特徴

- 機械的強度: 室温でも高温でも高い強度と延性を示す。

- 耐食性：酸や水分に対する耐性が高く、化学的に厳しい環境で使用される。

- 生物学的役割ビタミンB₁₂（コバラミン）に含まれ、ヒトの栄養補給に不可欠な微量元素。

原料-クロム

物理的性質

- 密度：～7.19 g/cm³

- 融点：1907

- 沸点：2671

- 硬度クロムは最も硬い金属元素のひとつで（モース硬度～8.5）、優れた耐摩耗性を持つ。

- 外観銀灰色でもろく、光沢と反射率が高い。

化学的性質

- クロムは、安定した不動態酸化物層（Cr₂O₃）を形成し、下地金属を腐食から保護する能力があるため、酸化や変色に非常に強い。

- 一般に+3と+6の酸化状態を示す。Cr³⁺はより安定で毒性が低く、Cr⁶は酸化力が強いが環境的に有害です。

- クロム化合物は鮮やかな色（クロムグリーン、クロムイエローなど）で知られ、顔料や染料に広く使われています。

工業用途

- ステンレス鋼および合金：クロムはステンレス鋼の主要元素であり、耐食性および耐酸化性を高めるため、通常10.5%以上の濃度で添加される。

- 保護コーティング：その硬度と光沢仕上げにより、工具、自動車部品、電子機器などのクロムめっきや物理蒸着（PVD）コーティングに使用される。

- スパッタリングターゲットと薄膜：クロムターゲットは、半導体、ディスプレイ、光学機器の硬質、導電性、耐食性コーティングの製造に使用される。

- 耐火材料：クロムは融点が高いため、高温セラミックやレンガの製造に使用される。

その他の特性

- 電気抵抗率：中程度（～12.9μΩ・cm）で、制御された導電層に適している。

- 毒性：金属クロムやCr³⁺化合物は一般的に安全と考えられているが、Cr⁶⁺化合物は毒性があり、規制されている。

- 環境安定性：クロムは、多くの過酷な化学環境でも劣化しにくい安定した化合物を形成します。

原材料- モリブデン

物理的性質

- 密度: ~10.2 g/cm³

- 融点: 2623°C (全金属の中で最も高い温度)

- 沸点: 4639°C

- 硬度高い強度と硬度、特に高温での硬度が高い。

- 熱および電気伝導性：熱と電気をよく通す；熱伝導率～138W/m・K

化学的性質

- モリブデンは室温では空気中や水中で比較的不活性である。

- 安定した酸化物（特にMoO₃）を形成し、特に合金にした場合、多くの酸に耐性がある。

- 一般的な酸化状態は+4と+6で、化合物ではMo⁺⁶が最も一般的です。

工業用途

- 合金化剤：強度、靭性、耐食性を高めるために、鉄鋼や超合金の製造に広く使われています。

- エレクトロニクスと薄膜：Moは、その導電性と接着性により、半導体配線、TFT背面電極、太陽電池のスパッタリングターゲットの主要材料である。

- 高温部品：極端な熱にさらされる炉部品、フィラメント、航空宇宙部品に最適。

- 触媒作用：モリブデン化合物は、石油精製や化学合成の触媒として機能する。

その他の特性

- 真空適合性：蒸気圧が低いため、真空環境での使用に優れている。

- 機械加工性：硬質であるが、適切な工具と注意により加工可能。

- 生物学的役割：酵素機能に関与し、人間や動物の代謝に不可欠である。