ST6588 クロムシリコンアルミターゲット（CrSiAlターゲット）

クロムシリコンアルミニウムターゲット（CrSiAlターゲット）の説明

アルミニウム錫銅ターゲット（AlSnCuターゲット ）は、軽量特性、導電性、機械的適応性のユニークなバランスを示す多元素スパッタリング材料です。アルミニウムを主成分とし、錫と銅の添加を制御したこの合金は、アルミニウムの低密度と耐食性の恩恵を受け、銅は材料の電気伝導性と熱伝導性を高めます。錫は潤滑性と加工性の向上、耐摩耗性と耐かじり性の向上に寄与します。ターゲットは通常、高度な合金化と鋳造技術によって達成された均質な微細構造を示し、安定したスパッタリング挙動と均一な膜組成を保証する。また、適度な融点と様々な基材との良好な熱膨張適合性を維持し、制御された温度環境下での使用に適している。これらの元素の組み合わせにより、低い内部応力、良好な接合特性、安定した表面形態を持つターゲット材料となり、長時間のスパッタリングプロセスにおいて信頼性の高い性能を保証します。

クロムシリコンアルミターゲット（CrSiAlターゲット）仕様

特性

*上記製品情報は理論値です。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。

サイズカスタマイズ

クロムシリコンアルミニウムターゲット（CrSiAlターゲット）の用途

クロムシリコンアルミニウムターゲット（CrSiAlターゲット）は、その優れた硬度、熱安定性、耐酸化性により、様々な先端薄膜技術に応用されています。半導体産業では、マイクロエレクトロニクスデバイスのバリア層や耐摩耗性コーティングに使用されています。光学分野では、レンズや光学部品の反射防止膜や保護膜の成膜に使われる。自動車産業や航空宇宙産業では、高温や摩擦にさらされる工具や部品の硬質耐熱コーティングにCrSiAl膜が利用されている。さらに、切削工具や金型は、表面の耐久性を高め、摩耗を減らします。CrSiAl皮膜は、金属光沢と環境暴露下での耐変色性により、装飾用途にも使用されています。

クロムシリコンアルミニウムターゲット（CrSiAlターゲット）包装

当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな商品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな商品は特注の木枠に入れられます。包装のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用して、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。

製造工程

1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法

1. 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
2. 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
3. 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
4. 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
5. 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。

クロムシリコンアルミターゲット（CrSiAlターゲット）に関するFAQ

Q1: 薄膜蒸着にCrSiAlを使用する利点は何ですか？

A1: CrSiAlターゲットは、優れた硬度、高い耐熱性、耐酸化性、安定したスパッタリング挙動を持ち、要求の厳しい環境における保護、装飾、機能性コーティングに最適です。

Q2: どのような成膜方法がCrSiAlターゲットと互換性がありますか？

A2: CrSiAlターゲットは、DCおよびRFマグネトロンスパッタリングシステムの両方に適しており、希望する膜特性に応じて、反応性または非反応性雰囲気で使用できます。

Q3: ターゲットのサイズや組成をカスタマイズできますか？

A3: はい、スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズでは、特定の研究または産業要件に合わせた様々なサイズ、形状（平面または回転）、および組成のCrSiAlターゲットを提供しています。

競合製品との性能比較表

クロムシリコンアルミニウムターゲット（CrSiAlターゲット）と競合材料との比較：性能比較

関連情報

1. 原材料 - クロム（Cr）

クロムは、高融点（1907℃）、優れた硬度、安定した保護酸化物層の形成能力で知られる、硬質で光沢のある耐食性遷移金属です。合金および化合物スパッタリングターゲットの耐摩耗性と耐酸化性を高め、高温や過酷な環境での用途に最適です。

2. 原材料 - シリコン（Si）

シリコンは原子番号14のメタロイドで、地殻中で2番目に豊富な元素です。現代のエレクトロニクスの基本であり、ほとんどの半導体や集積回路のベース材料となっています。シリコンは優れた半導体特性、熱安定性を持ち、酸素と強い結合を形成するため、ガラス、セラミックス、太陽電池の用途に不可欠である。その汎用性と豊富さにより、シリコンはエレクトロニクスおよび材料科学産業の要となっている。

3. 原材料-アルミニウム

アルミニウムは軽量で、原子番号13の銀白色の金属である。優れた耐食性、高い熱伝導率および電気伝導率、低い密度（2.7g/cm³）で知られ、最小限の重量で構造的完全性を必要とする用途に理想的です。アルミニウムは自然酸化膜を形成し、それ以上の酸化から保護し、反射率が高く延性があるため、加工や他の金属との合金が容易である。