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カタログ番号 | AL3258 |
素材 | Al2O3, AlN, サファイア |
寸法 | φ200/300mm装置用 |
純度 | ≥99.9% |
静電チャックは、高純度、高プラズマ耐久性、良好なチャッキング/デチャッキング応答性、高温および低温アプリケーションを特徴としています。Stanford Advanced Materials (SAM)は、高品質のアルミナ製品の製造・供給において豊富な経験を有しています。
ESC表面に設置されたシリコンウェーハとの間に発生する静電気力を利用し、電極を内蔵しています。半導体製造工程において、シリコンウェーハの設置、平坦度補正、シリコンウェーハの冷却などに使用されます。
- φ200/300mm装置対応
- 高純度Al2O3/AlN/サファイア材質
- 高いプラズマ耐久性
- 良好なチャッキング/デチャッキング応答性
- 高温・低温の極端な自然条件に耐える。
材質 |
サファイア |
色 |
透明 |
含有率 |
99.99 |
密度(g/cm3) |
3.97 |
ビッカース硬度 HV9.807N (Gpa) |
22.5 |
ヤング率 |
470 |
圧縮強さ (Mpa) |
2,940 |
熱伝導率(20℃)(W/(m・K) |
41 |
静電チャックは、シリコンウエハの取り付け、平坦度補正、シリコンウエハの冷却などに使用されます。
当社の静電チャックは、製品の品質を損なわないよう、保管・輸送時に細心の注意を払っています。
素材 |
サファイア |
カラー |
透明 |
含有率 |
99.99 |
密度(g/cm3) |
3.97 |
ビッカース硬度 HV9.807N (Gpa) |
22.5 |
ヤング率 |
470 |
圧縮強さ (Mpa) |
2,940 |
熱伝導率(20℃)(W/(m・K) |
41 |
*上記の製品情報は理論値に基づくもので、参考用です。実際の仕様は異なる場合があります。
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