AL3258 静電チャック（Al2O3、AlN、サファイア）

静電チャックは、高純度、高プラズマ耐久性、良好なチャッキング/デチャッキング応答性、高温および低温アプリケーションを特徴としています。Stanford Advanced Materials （SAM）は、高品質のアルミナ製品の製造・供給において豊富な経験を有しています。

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