製品紹介
バー
ビーズと球体
ボルト＆ナット
坩堝
ディスク
繊維
映画
フレーク
フォーム
フォイル
顆粒
ハニカム
インク
ラミネート
しこり
メッシュ
メタライズド・フィルム
プレート
粉類
ロッド
シーツ
単結晶
スパッタリングターゲット
チューブ
洗濯機
ワイヤー
コンバータと計算機
私たちのために書く
PVDターゲット選択101：半導体膜に適した金属の選び方
次世代半導体膜にモリブデンとニオブのどちらを使うか悩んでいませんか？このMaterial Talksの簡潔なエピソードでは、サミュエル・R・マシューズ博士が混乱を切り抜ける。彼は基本的な特性を超えて、信頼性の高いプロセスと高収率のブレークスルーを分ける隠れた選択基準を明らかにします。
なぜ熱応力耐性や究極純度があなたの選択を決定するのか、あなたのデザインレビューのための実践的な3つの質問チェックリストを学び、ターゲット自身の微細構造が蒸着における目に見えない変数になることを理解する。推測をやめて、自信を持ってフィルムスタックのエンジニアリングを始めましょう。
認証されたMo（ST0030）およびNb（ST0033）スパッタリングターゲットの詳細については、SAMのスパッタリングターゲットページをご覧ください。
マシューズ博士
「マテリアル・トークスへようこそ。私はスタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ社の最高材料責任者、サミュエル・マシューズ博士です。新しいチップを設計し、性能モデルは完璧に見えるのに、いざ製造しようとしたら薄膜の特性が規格外だった。その原因は？適切なターゲット材を選択することは、単なる購入決定ではなく、デバイスの性能を左右する重要なステップです。その選択を解明しましょう。"
マシューズ博士
「導電性バリア層か接着層か。モリブデン(Mo)とニオブ(Nb)という2つの優れた、しかししばしば混同される選択肢があります。 どちらも耐火性金属で、どちらも素晴らしいものです。しかし、どうやって決めるのでしょうか？
まず、当社のST0030グレードであるモリブデンから始めましょう。 モリブデンは、「信頼できる主力製品」と考えてください。 その主な利点は、安定性と費用対効果です。 モリブデンは、シリコンに近い低い熱膨張係数を持つため、高い処理温度でもフィルムスタックのストレスが少なくなります。そのため、フィルムの密着性と界面安定性が譲れない、長時間・高温のプロセスに最適です。要求の厳しい熱環境において、堅牢で予測可能な性能を優先するのであれば、Moが最適です。
次に、当社のST0033グレードであるニオブについて考えてみましょう。 ニオブは「高純度のスペシャリスト」であり、その真価が発揮されるのは、可能な限り低い酸素含有量と優れた薄膜均一性が要求される用途です。 酸化ニオブ自体も有用な材料ですが、純粋な金属層の場合、スパッタリング中に純度を維持するNbの能力は並外れています。そのため、微量の不純物でも重要な電気特性を劣化させる可能性のある先端ロジックノードや超伝導回路に最適です。デバイスの性能が膜純度や欠陥密度に極めて敏感な場合は、Nbに注目すべきです。
熱応力や層間剥離と戦うのか、不純物や不均一な結晶粒構造のような電気的性能のキラーと戦うのか。 熱的整合性と堅牢性ではMoが勝ち、究極の純度と均一性ではNbが勝ちます。
ST0030MoまたはST0033Nbターゲットの性能は、その微細構造と密度によって決まります。密度が低かったり、粒径が一定でないターゲットは、アーク、パーティクルの発生、不均一な蒸着につながり、ウェーハの歩留まりを低下させます。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズでは、理論密度に近く、微細で均質な結晶粒構造を持つターゲットを製造するための高度な焼結技術を駆使し、粉末からこれを制御しています。これは単なる材料ではなく、プロセスの精密工学コンポーネントなのです。"
マシューズ博士
「ターゲットの選択を当てずっぽうにしてはいけません。保証された材料品質に裏打ちされた正しい選択は、プロセスの再確認にかかる数週間を節約します。
SAMのウェブサイトにあるST0030モリブデンターゲットとST0033ニオブターゲットの製品ページをご覧ください。 純度、密度、微細構造データが記載された詳細な技術データシートがご覧になれます。
SAMのエンジニアは、単にターゲットを販売するだけでなく、お客様の特定のアプリケーション（先進的なロジック、メモリ、パワーデバイスなど）を理解し、最適な材料と仕様を推奨するために、お客様とパートナーになります。お客様のパラメータをお送りください。
ご清聴ありがとうございました。サミュエル・マシューズ博士より、適切な材料は経費ではなく、最も重要な投資であることをお伝えしました。次回の「マテリアル・トークス」まで。
