モリブデンニオブ合金平面ターゲットの説明
スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)は 、高度な薄膜蒸着アプリケーション用に設計された高品質のモリブデン-ニオブ(MoNb)合金平面ターゲットを提供しています。一般的に90%のモリブデンと10%のニオブで構成されるこの合金は、モリブデンの高い融点、熱安定性、電気伝導性と、ニオブの強化された機械的強度と耐食性を兼ね備えています。
SAMは、様々な純度レベル(99.9%~99.999%)のMoNbプレーナーターゲットを提供し、高性能コーティングアプリケーションのための最小限の不純物を保証します。これらのターゲットは、プレート、ディスク、カスタム寸法を含む様々な形状で入手可能であり、様々なスパッタリングシステムと互換性があります。ニオブの添加により耐酸化性と耐アルカリ腐食性が向上し、MoNb合金は耐久性と性能の一貫性が不可欠な厳しい環境に最適です。
精密な結晶粒構造制御と均一な組成で製造されたSAMのMoNbプレーナースパッタリングターゲットは、成膜中の優れた密着性と膜質を保証します。厳格な品質管理とカスタマイズ可能な仕様により、SAMは高性能薄膜を必要とする業界に信頼性の高いソリューションを提供し、エレクトロニクス、光学、半導体、その他の先端製造分野の技術革新を支えています。
モリブデン・ニオブ合金平面ターゲット仕様
特性
グレード
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密度
(g/cm3)
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平均粒径
(μm)
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粗さ
(μm)
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真直度
(mm)
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接合率
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MoNb5
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≥10.00
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≤100
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≤0.8
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≤0.30
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≥97%
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MoNb10
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≥9.90
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≤100
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≤0.8
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≤0.30
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≥97%
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化学組成%
化学組成
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MoNb5
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MoNb10
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主成分, %, min
Mo
|
Mo
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94.85-95.05
|
89.85-90.05
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Nb
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5.00±0.1
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10.00±0.1
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不純物含有量(質量分率)、
最大
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Al
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0.0050
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0.0050
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Cr
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0.0050
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0.0050
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銅
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0.0050
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0.0050
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鉄
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0.0100
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0.0100
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ニッケル
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0.0050
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0.0050
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Si
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0.0060
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0.0060
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C
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0.0150
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0.0150
|
O
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0.0800
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0.0800
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N
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0.0300
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0.0300
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*上記の製品情報は理論値に基づいています。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。
モリブデン・ニオブ合金平面ターゲットの用途
- フラットパネルディスプレイ、タッチパネルTFT-LCDやOLEDディスプレイの電極性能の向上やフィルム密着性の改善に使用されます。
- 半導体およびマイクロエレクトロニクス集積回路やマイクロチップ製造におけるバリア層や接着層として使用されます。
- 光学コーティング高精度光学部品の反射防止膜や保護膜に使用される。
- 薄膜太陽電池CIGS(銅インジウムガリウムセレン化物)太陽電池の導電層として使用され、効率と耐久性を向上させる。
- 耐食コーティング酸化やアルカリ腐食に対する耐性を高め、過酷な環境に適している。
モリブデン・ニオブ合金平面ターゲット包装
当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな商品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな商品は特注の木箱に入れられます。梱包のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用することで、輸送中に最適な保護を提供します。

梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。
製造工程
1.簡単な製造工程の流れ

2.試験方法
- 化学成分分析 - GDMSやXRFなどの技術を用いて検証し、純度要件への適合を確認する。
- 機械的特性試験 - 材料性能を評価するための引張強さ、降伏強さ、伸び試験を含む。
- 寸法検査 - 厚さ、幅、長さを測定し、指定された公差に準拠していることを確認します。
- 表面品質検査 - 目視および超音波検査により、傷、亀裂、介在物などの欠陥をチェックします。
- 硬度検査 - 材料の硬度を測定し、均一性と機械的信頼性を確認します。
モリブデン・ニオブ合金平面ターゲットに関するFAQ
Q1: 純モリブデンターゲットと比較して、MoNb合金を使用する利点は何ですか?
A1: ニオブの添加により、耐食性、耐酸化性、機械的強度が向上し、要求の厳しい薄膜用途での耐久性が向上します。
Q2: どのような産業でMoNbスパッタリングターゲットがよく使われていますか?
A2: MoNb合金ターゲットは、フラットパネルディスプレイ、半導体、光学コーティング、薄膜太陽電池、耐食コーティングなどに広く使用されています。
Q3: MoNbスパッタリングターゲットはどのように保管、取り扱えばよいですか?
A3: 品質を維持するため、ターゲットは乾燥した清潔な環境で保管し、汚染や物理的損傷を避けるよう注意して取り扱ってください。
競合製品との性能比較表
モリブデンニオブロータリーターゲットとモリブデンニオブプレーナターゲットの比較
特徴
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モリブデンニオブロータリーターゲット
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モリブデンニオブ平面ターゲット
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材料利用率
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最大80-90
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30-40%程度
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耐用年数
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長く、交換頻度を低減
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より短く、より頻繁な交換が必要
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コーティングの均一性
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均一性が高く、大面積コーティングに最適
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厚みにばらつきがある場合がある
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製造コスト
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初期コストは高いが、長期的には経済的
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イニシャルコストは低いが、交換頻度が高い
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用途
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大面積コーティング(TFT-LCD、太陽電池、光学コーティング)
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小面積コーティング(半導体、精密電子機器)
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スパッタリング安定性
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安定性が高く、材料ロスが少ない
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浸食ムラによる安定性低下の可能性あり
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対応装置
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回転式スパッタリング装置が必要
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従来の平面スパッタリング装置と互換性あり
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関連情報
- 原材料-モリブデン
モリブデン(Mo)は、高融点、優れた熱伝導性と電気伝導性、優れた耐食性を持つ耐火性金属です。銀灰色の金属で、過酷な条件下での強度と安定性で知られ、様々な工業用途に不可欠です。
主な特性
原子番号:42
原子量: 95.95
密度:10.28 g/cm³
融点: 2,617°C (4,723°F)
沸点:4,639℃(8,382°F)
熱伝導率: 138 W/m-K
モリブデンの用途
エレクトロニクスと薄膜コーティング:TFT-LCDディスプレイ、ソーラーパネル、半導体部品のスパッタリングターゲットに使用される。
航空宇宙および高温環境:耐熱性があるため、航空機やロケット部品の高性能合金に使用される。
エネルギー産業:原子炉、発電、高温炉に不可欠。
鉄鋼および金属合金:ステンレス鋼や超合金の強度、硬度、耐食性を向上させる。
化学工業石油精製や化学処理において触媒として働く。
高温安定性、耐久性、導電性というモリブデン独自の組み合わせにより、モリブデンは様々な産業、特に先端製造業やテクノロジー用途で貴重な材料となっている。
- 原材料-ニオブ
ニオブ(Nb)は、高融点、優れた耐食性、超伝導特性で知られる遷移金属です。銀灰色の外観を持ち、耐酸化性に優れているため、様々な工業用途やハイテク用途で重宝されています。
主な特性
原子番号:41
原子量:92.91
密度:8.57 g/cm³
融点: 2,477°C (4,491°F)
沸点:4,927°C
熱伝導率: 53.7 W/m-K
ニオブの用途
超電導材料:超電導材料:MRI装置、粒子加速器、核融合炉の超電導磁石に使用される。
航空宇宙および高温合金:耐熱性と耐酸化性により、ジェットエンジン、ロケット部品、ガスタービンを強化する。
エレクトロニクスと薄膜コーティング:半導体や光学コーティングのスパッタリングターゲットに使用される。
鉄鋼および構造合金ステンレス鋼やパイプライン材料の強度と靭性を高める。
化学工業化学プロセスや原子炉の耐食機器に応用。
ニオブは、強度、安定性、電気的特性などのユニークな組み合わせにより、航空宇宙、エネルギー、超伝導体、先端製造業において重要な材料となっている。
仕様
プロパティ
グレード
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密度
(g/cm3)
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平均粒径
(μm)
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粗さ
(μm)
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真直度
(mm)
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接合率
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MoNb5
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≥10.00
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≤100
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≤0.8
|
≤0.30
|
≥97%
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MoNb10
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≥9.90
|
≤100
|
≤0.8
|
≤0.30
|
≥97%
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化学組成%
化学組成
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MoNb5
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MoNb10
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主成分, %, min
Mo
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Mo
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94.85-95.05
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89.85-90.05
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Nb
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5.00±0.1
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10.00±0.1
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不純物含有量(質量分率)、
最大
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Al
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0.0050
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0.0050
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Cr
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0.0050
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0.0050
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銅
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0.0050
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0.0050
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鉄
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0.0100
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0.0100
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ニッケル
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0.0050
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0.0050
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Si
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0.0060
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0.0060
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C
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0.0150
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0.0150
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O
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0.0800
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0.0800
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N
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0.0300
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0.0300
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*上記の製品情報は理論値に基づいています。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。