LSAT結晶基板の説明
一般的に使用されている高温超電導薄膜LaAlO3結晶に比べ、(La,Sr) (Al,Ta) O3（以下LSATと略す）は結晶構造が同じであり、相転移温度が低く、双晶が発生しにくいことから、優れた高温超電導薄膜基板であることが徐々に認知されつつあります。同時に、その<111>方向はGaNと同じ六方対称性を持つため、GaNやAlN薄膜の基板材料として使用できる。
LSAT結晶基板の仕様
| 主要能力パラメーター |
| 結晶構造 |
立方晶 |
| 格子定数 |
a=3.868 A |
| 融点 |
1840 |
| 密度 |
6.74（g/cm3） |
| 硬度 |
6.5（モース） |
| 誘電率 |
22 |
| 熱膨張係数 |
10×10-6 /K |
| 外観 |
無色、淡褐色 |
|
寸法
|
10x3、10x5、10x10、15x15、20x15、20x20 |
| Ф2″ |
| 厚さ |
0.5mm、1.0mm |
| 研磨 |
シングルまたはダブルサイド研磨 |
| 結晶方位 |
<100>, <110>, <111>±0.5º |
| 方位精度 |
±0.5° |
| エッジ配向精度 |
2°（1°単位で特殊） |
| Ra |
≤5Å (5µm×5µm) |
LSAT結晶基板の用途
薄膜のエピタキシャル成長
LSAT結晶基板は、その優れた格子整合性と熱安定性により、ペロブスカイト材料などの複雑な酸化物薄膜のエピタキシャル成長に広く使用されています。
- 高温超伝導体
LSAT基板は、YBa₂Cu₃O₃(YBCO)などの高温超伝導(HTS)膜の成膜に最適で、先進的な超伝導デバイスや研究への応用が可能です。
- 強誘電体およびマルチフェロイックデバイス
LSAT基板のユニークな特性により、強誘電体およびマルチフェロイック薄膜の製造に適しており、メモリストレージ、センサー、アクチュエーターに不可欠です。
- スピントロニクス用途
スピンバルブ、磁気トンネル接合、その他のスピントロニクス技術に不可欠なSrRuO₃やLa₀.₇.₀.₇などの材料の成長をサポートします。
- 酸化物ベースのエレクトロニクス
LSAT基板は、さまざまな酸化物材料との格子不整合が少ないため、トランジスタやキャパシタなどの酸化物ベースの電子デバイスの開発をサポートします。
- 調整可能な誘電体共振器
LSATの誘電特性は、波長可変誘電体共振器、フィルター、その他の電気通信用高周波部品への使用に適しています。
- 二次元電子ガス（2DEG）システム
LSAT基板は、量子現象の研究や次世代量子デバイスの開発の鍵となる、酸化物界面での2次元電子ガスシステムの構築に採用されています。
- フォトニックデバイス
LSATは、レーザー、導波路、光変調器などに適した光学特性を持つ高品質の薄膜を成長させるフォトニック用途に使用されています。
- ペロブスカイト酸化物の研究
LSAT 基板は、ペロブスカイト酸化物材料の研究を可能にし、科学者はその磁気特性、電気特性、触媒特性を探求して、新たな応用の可能性を探ることができます。
- 量子コンピューティング
LSAT 基板は、量子コンピューティングにおいて、高い熱安定性と最小限の欠陥により、量子ビットやその他の量子構造を作製するための安定したプラットフォームを提供する役割を担っています。
LSAT結晶基板のパッケージング
LSAT結晶基板は、輸送や保管の安全性を確保するため、帯電防止保護層、防湿シール、衝撃吸収材などで細心の注意を払って包装されています。各パッケージには、国際出荷基準を満たすための詳細なラベル付けと文書が含まれています。
よくある質問
Q1 LSAT基板は高温用途に適していますか？
はい、LSAT基板は熱安定性に優れており、超伝導膜や酸化物成長などの高温用途に広く使用されています。
Q2LSAT基板はスピントロニクス用途に適していますか？
はい、LSAT基板はSrRuO₃やLa₀.₇.₀.₇MnO₃のような材料と相性が良いため、スピントロニクスデバイスに一般的に使用されています。
Q3LSAT結晶基板は何に使われるのですか？
LSAT結晶基板は、薄膜のエピタキシャル成長、高温超伝導、スピントロニクス、強誘電体デバイス、量子コンピューティング、酸化物系エレクトロニクスなどに使用されています。
