Снято с производства (生産中止) GR5613 PECVDグラファイトボート

Каталог нет.	GR5613
素材	PECVDグラファイト
形状	ボート
密度	1.87 g/cm3
電気抵抗率	13 μΩm

PECVDグラファイトボートは、様々な基板上に薄膜を蒸着するPECVDプロセスで使用されるグラファイト製の特殊な容器またはキャリアです。スタンフォードアドバンストマテリアルズ（SAM）は、高純度かつ競争力のある価格でPECVDグラファイトボートを提供する豊富な経験を誇っています。

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材質	-	PECVDグラファイト
密度	g/cm³	1.87
比抵抗	μΩm	13
曲げ強度	MPa	72
灰分	PPM	4.7
CTE	1E-6/℃	4.7
ピース公差	mm	±0.01
熱膨張	mm	≤0.2
粒度	μm	7
ショア硬度	HSD	70

素材	-	PECVD グラファイト
密度	g/cm³	1.87
比抵抗	μΩm	13
曲げ強度	MPa	72
灰分	PPM	4.7
CTE	1E-6/℃	4.7
ピース公差	mm	±0.01
熱膨張	mm	≤0.2
粒度	μm	7
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