IF5320 (生産中止) 650℃ 急速熱処理用2ゾーンCSS炉 OTF-1200X-RTP-II

カタログ番号	IF5320
商品番号	OTF-1200X-RTP-II
動作温度	1000℃連続
動作温度	≤ 1100℃、≤30分 ℃
寸法	130100100mm

生産終了

650C 急熱処理用2ゾーンCSS炉 OTF-1200X-RTP-IIは、外径11インチの石英管を装備した2加熱ゾーンの急速熱処理炉です。Stanford Advanced Materials 社（SAM）は、高品質のマッフル炉を製造・供給する豊富な経験を有しています。

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炉構造と真空チャンバー	デュアルヒーター、2台の温度コントローラー、2チャンネルのガス流量計を可動式アルミ合金フレームに内蔵チャンバーは高純度石英管製石英管サイズ：11" OD/10.8" ID x 9" H 断熱材としてカーボンファイバーフェルトを使用真空フランジはステンレス316製全体寸法：850(L)×745(W)×1615(H)mm
真空フランジ	上部フランジにはKFD-25真空ポートが1つ、ガス排出口が2つ（1/4 "パイプが必要）、手動で上下にスライドさせることができ、基板や蒸発材料を簡単に出し入れできます。下部フランジはKFD-25真空ポート1個とガス注入口2個（1/4 "パイプが必要）、ニードルバルブ付きフランジは二重シリコンOリングでシールされ、高品質の機械式ポンプで10E-2Torr、分子ポンプで10E-5Torrの最大真空圧を達成できます。高精度防錆デジタル真空計が標準装備されています。
ヒーターとサンプルホルダー	短波赤外線ランプ2個を発熱体として使用し、高速加熱が可能。 2つのヒーター間の距離は10～50mmの範囲で調整可能。ヒーターはステンレス製で、水冷ジャケットにより熱放射を抑え、高速冷却が可能。 3インチ丸型ウェーハホルダーをトップヒーターに内蔵し、基板をセット可能高熱伝導性AlNプレート（3 "Dia x 0.5mm厚）が1枚付属しており、基板の裏面に貼り付けて均一に加熱します。 3 "グラファイトプレート1枚をAINプレートの代わりに使用可能。ハロゲンライトヒーターの交換も可能（有料
温度コントローラー	30セグメントプログラム可能な2台の精密デジタル温度コントローラーにより、上部と下部のヒーターを独立して制御。各コントローラーには、ヒーターをオーバーシュートから保護するPIDオートチューン機能、過熱やサーマルカップルの破損を回避するアラーム機能を搭載。 PC通信インターフェース＆ソフトウェアがインストールされています
働く温度	各ヒーターのための最高温度: ≤ 650 2つのヒーター間の最高温度の相違: ≤ 300℃は2つのヒーター間の間隔によって決まる：
暖房及び冷却率	暖房: < 8℃/s （暖房の単一のヒーターだけ）冷却: < 10℃/s （600 - 100℃）最高。
熱電対	上下ヒーターにK型サーマル・カップル（露出）2個を別々に設置
使用電圧	208 - 240VAC、単相、20Aエアブレーカー
所要電力	合計2200W（各ヒーター1100W）
保証	1年間（石英管や加熱ランプなどの消耗部品は保証対象外）
適合規格	CE認定

炉構造と真空チャンバー	デュアルヒーター、2台の温度コントローラー、2チャンネルのガス流量計を可動式アルミ合金フレームに内蔵チャンバーは高純度石英管製石英管サイズ：外径11インチ/内径10.8インチ/高さ9インチ断熱材としてカーボンファイバーフェルトを使用真空フランジはステンレス316製全体寸法：850(L)×745(W)×1615(H)mm
真空フランジ	上部フランジにはKFD-25真空ポートが1つ、ガス排出口が2つ（1/4 "パイプが必要）、手動で上下にスライドさせることができ、基板や蒸発材料を簡単に出し入れできます。下部フランジはKFD-25真空ポート1個とガス注入口2個（1/4 "パイプが必要）、ニードルバルブ付きフランジは二重シリコンOリングでシールされ、高品質の機械式ポンプで10E-2Torr、分子ポンプで10E-5Torrの最大真空圧を達成できます。高精度防錆デジタル真空計が標準装備されています。
ヒーターとサンプルホルダー	短波赤外線ランプ2個を発熱体として使用し、高速加熱が可能。 2つのヒーター間の距離は10～50mmの範囲で調整可能。ヒーターはステンレス製で、水冷ジャケットにより熱放射を抑え、高速冷却が可能。 3インチ丸型ウェーハホルダーをトップヒーターに内蔵し、基板をセット可能高熱伝導性AlNプレート（3 "Dia x 0.5mm厚）が1枚付属しており、基板の裏面に貼り付けて均一に加熱します。 3 "グラファイトプレート1枚をAINプレートの代わりに使用可能。ハロゲンライトヒーターの交換も可能（有料
温度コントローラー	30セグメントプログラム可能な2台の精密デジタル温度コントローラーにより、上部と下部のヒーターを独立して制御。各コントローラーには、ヒーターをオーバーシュートから保護するPIDオートチューン機能、過熱やサーマルカップルの破損を回避するアラーム機能を搭載。 PC通信インターフェース＆ソフトウェアがインストールされています
働く温度	各ヒーターのための最高温度: ≤ 650 2つのヒーター間の最高温度の相違: ≤ 300℃は2つのヒーター間の間隔によって決まる：
暖房及び冷却率	暖房: < 8℃/s （暖房の単一のヒーターだけ）冷却: < 10℃/s （600 - 100℃）最高。
熱電対	上下ヒーターにK型サーマル・カップル（露出）2個を別々に設置
使用電圧	208 - 240VAC、単相、20Aエアブレーカー
所要電力	合計2200W（各ヒーター1100W）
保証	1年間（石英管や加熱ランプなどの消耗部品は保証対象外）
適合規格	CE認定

IF5320 (生産中止) 650℃ 急速熱処理用2ゾーンCSS炉 OTF-1200X-RTP-II

生産終了

650C 急速熱処理用2ゾーンCSS炉 OTF-1200X-RTP-II 商品概要

650℃ 急熱処理用2ゾーンCSS炉 OTF-1200X-RTP-II 主要仕様

650C 急速熱処理用2ゾーンCSS炉 OTF-1200X-RTP-II アプリケーション

650C 急速熱処理用2ゾーンCSS炉 OTF-1200X-RTP-II パッケージング

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