650C 急速熱処理用2ゾーンCSS炉 OTF-1200X-RTP-II 商品概要
650C 急速熱処理用2ゾーンCSS炉 OTF-1200X-RTP-IIは外径11インチの石英管を装備した2加熱ゾーン急速熱処理炉です。直径3 "または2 "x2 "角のPVDまたはCSS(密着昇華)フィルムコーティング用に設計されています。炉は2組のハロゲンヒーター（上部と下部）で加熱され、最高加熱温度は100 rpmです。CdTe太陽電池、硫化物太陽電池、ペロブスカイト太陽電池などの新世代太陽電池薄膜の研究に最適です。また、薄膜アニール用のRTPとしても使用できます。
650℃ 急熱処理用2ゾーンCSS炉 OTF-1200X-RTP-II 主要仕様
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炉構造と真空チャンバー
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- デュアルヒーター、2台の温度コントローラー、2チャンネルのガス流量計を可動式アルミ合金フレームに内蔵
- チャンバーは高純度石英管製
- 石英管サイズ：11" OD/10.8" ID x 9" H
- 断熱材としてカーボンファイバーフェルトを使用
- 真空フランジはステンレス316製
- 全体寸法：850(L)×745(W)×1615(H)mm
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真空フランジ
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- 上部フランジにはKFD-25真空ポートが1つ、ガス排出口が2つ（1/4 "パイプが必要）、手動で上下にスライドさせることができ、基板や蒸発材料を簡単に出し入れできます。
- 下部フランジはKFD-25真空ポート1個とガス注入口2個（1/4 "パイプが必要）、ニードルバルブ付き
- フランジは二重シリコンOリングでシールされ、高品質の機械式ポンプで10E-2Torr、分子ポンプで10E-5Torrの最大真空圧を達成できます。
- 高精度防錆デジタル真空計が標準装備されています。
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ヒーターとサンプルホルダー
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- 短波赤外線ランプ2個を発熱体として使用し、高速加熱が可能。
- 2つのヒーター間の距離は10～50mmの範囲で調整可能。
- ヒーターはステンレス製で、水冷ジャケットにより熱放射を抑え、高速冷却が可能。
- 3インチ丸型ウェーハホルダーをトップヒーターに内蔵し、基板をセット可能
- 高熱伝導性AlNプレート（3 "Dia x 0.5mm厚）が1枚付属しており、基板の裏面に貼り付けて均一に加熱します。
- 3 "グラファイトプレート1枚をAINプレートの代わりに使用可能。
- ハロゲンライトヒーターの交換も可能（有料
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温度コントローラー
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- 30セグメントプログラム可能な2台の精密デジタル温度コントローラーにより、上部と下部のヒーターを独立して制御。
- 各コントローラーには、ヒーターをオーバーシュートから保護するPIDオートチューン機能、過熱やサーマルカップルの破損を回避するアラーム機能を搭載。
- PC通信インターフェース＆ソフトウェアがインストールされています
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働く温度
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- 各ヒーターのための最高温度: ≤ 650
- 2つのヒーター間の最高温度の相違: ≤ 300℃は2つのヒーター間の間隔によって決まる：
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暖房及び冷却率
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- 暖房: < 8℃/s （暖房の単一のヒーターだけ）
- 冷却: < 10℃/s （600 - 100℃）最高。
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熱電対
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- 上下ヒーターにK型サーマル・カップル（露出）2個を別々に設置
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使用電圧
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- 208 - 240VAC、単相、20Aエアブレーカー
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所要電力
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保証
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- 1年間（石英管や加熱ランプなどの消耗部品は保証対象外）
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適合規格
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650C 急速熱処理用2ゾーンCSS炉 OTF-1200X-RTP-II アプリケーション
650C 急速熱処理用2ゾーンCSS炉 OTF-1200X-RTP-IIは、CdTe太陽電池、硫化物太陽電池、ペロブスカイト太陽電池などの新世代太陽電池薄膜の研究に最適なツールです。また、薄膜アニール用のRTPとしても使用できます。
650C 急速熱処理用2ゾーンCSS炉 OTF-1200X-RTP-II パッケージング
650C 急速熱処理用2ゾーンCSS炉 OTF-1200X-RTP-IIは 、製品の品質を原状に保つため、保管中および輸送中の取り扱いに細心の注意を払っています。
