生産中止 IF5687 (生産中止) 1100C コンパクト雰囲気制御 RTP 炉 OTF-1200X-4-RTP

カタログ番号	IF5687
商品番号	OTF-1200X-4-RTP
動作温度	1000℃連続
動作温度	≤ 1100℃、≤1時間

販売終了

1100Cコンパクト雰囲気制御RTP炉は、内径4インチの石英処理管と真空フランジを装備したコンパクトな急速熱処理管状炉です。Stanford Advanced Materials （SAM）は、高品質のコンパクト管状炉の製造と供給に豊富な経験を持っています。

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特徴	空冷式二層鋼製ケーシングにより炉表面温度を60℃以下に保持高純度アルミナファイバー断熱による最大限の省エネインターロック付き分割カバーにより、加熱中に蓋が開くと電源が遮断されます。
使用温度	最高加熱温度 1100℃ (<10分) 1000℃、（20分未満） 800℃、（120分未満）連続使用温度：≤600℃の
基本パラメータ	発熱体K型熱電対循環水流量：0.5 m3 / hの標準流量測定範囲16〜160ミリリットル/分デジタル真空計¹⁰-4〜1000torr
電源	208-240V AC、12 KW、50/60 Hz
温度調節器	FA-YD808P-AG温度コントローラー付属。比例・積分・微分制御（PID制御）とオートチューン機能ランピング、クーリング、ドウェリングステップでプログラムされた50セグメント過熱アラームおよび熱電対故障アラーム内蔵温度制御精度 +/- 1 ºC デフォルトDB9 PC通信ポート
石英管＆試料ホルダー	水晶管サイズ：外径4.33インチ×内径4.05インチ×長さ16.2インチ。直径3インチまでの試料をアニールするための直径3インチのAlN試料ホルダーが1個付属。 (AlNは熱伝導率が非常に高く、試料エリアの温度均一性に優れています。試料ホルダーはフランジから取り外し可能で、RTPファーネスを他の用途に使用できます)。オプション：O.D.3インチの厚いグラファイト基板（AINプレートの代替品）オプショングラファイト製るつぼ（外径87 mm x 内径71 mm x 高さ12 mm、蓋付き）は3インチ試料ホルダー用に設計されています。 (るつぼは、SiCでコーティングされたグラファイトるつぼを使用して、RTE、CSS、またはHPCVD炉に変更することもできます。
全体寸法	フランジ（閉じた状態）：1350 L * 330 W * 590 H mm フランジ（オープン時）：1350 L * 520 W * 740 H mm 炉サイズ：φ180*190mm
正味重量	70 kg
保証	1年間の限定保証と生涯サポート注意：腐食性ガスや酸性ガスの使用に起因する損害は、SAM 1年限定保証の対象外です。
認証	CE認証 NRTLまたはCSA認証は別途費用にて取得可能です。

特徴	空冷式二層鋼製ケーシングにより、炉表面温度を60℃以下に維持高純度アルミナファイバー断熱により、最大限の省エネを実現インターロック機能付き分割カバーにより、加熱中に蓋が開くと電源が切断されます。
使用温度	最高加熱温度 1100℃ (<10分) 1000℃、（20分未満） 800℃、（120分未満）連続使用温度：≤600℃の
基本パラメータ	発熱体K型熱電対循環水流量：0.5 m3 / hの標準流量測定範囲16〜160ミリリットル/分デジタル真空計¹⁰-4〜1000torr
電源	208-240V AC、12 KW、50/60 Hz
温度調節器	FA-YD808P-AG温度コントローラー付属。比例・積分・微分制御（PID制御）とオートチューン機能ランピング、クーリング、ドウェリングステップでプログラムされた50セグメント過熱アラームおよび熱電対故障アラーム内蔵温度制御精度 +/- 1 ºC デフォルトDB9 PC通信ポート
石英管＆試料ホルダー	水晶管サイズ：外径4.33インチ×内径4.05インチ×長さ16.2インチ。直径3インチまでの試料をアニールするための直径3インチのAlN試料ホルダーが1個付属。 (AlNは熱伝導率が非常に高く、試料エリアの温度均一性に優れています。試料ホルダーはフランジから取り外し可能で、RTPファーネスを他の用途に使用できます)。オプション：O.D.3インチの厚いグラファイト基板（AINプレートの代替品）オプショングラファイト製るつぼ（外径87 mm x 内径71 mm x 高さ12 mm、蓋付き）は3インチ試料ホルダー用に設計されています。 (るつぼは、SiCでコーティングされたグラファイトるつぼを使用して、RTE炉、CSS炉、またはHPCVD炉に変更することもできます。
全体寸法	フランジ（閉じた状態）：1350 L * 330 W * 590 H mm フランジ（オープン時）：1350 L * 520 W * 740 H mm 炉サイズ：φ180*190mm
正味重量	70 kg
保証	1年間の限定保証と生涯サポート注意：腐食性ガスや酸性ガスの使用に起因する損害は、SAM 1年限定保証の対象外です。
認証	CE認証 NRTLまたはCSA認証は別途費用にて取得可能です。

生産中止 IF5687 (生産中止) 1100C コンパクト雰囲気制御 RTP 炉 OTF-1200X-4-RTP

販売終了

1100C コンパクト雰囲気制御RTP炉 OTF-1200X-4-RTP の説明

1100℃コンパクト雰囲気制御RTP炉 OTF-1200X-4-RTPの仕様

1100℃ コンパクト雰囲気制御RTP炉 OTF-1200X-4-RTP 用途

1100C小型雰囲気制御RTP炉 OTF-1200X-4-RTP パッケージング

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