チャンネルガスコントロールシステム RTP-1000-LCD 概要
チャンネルガスコントロールシステムはマルチチャンネルマスフローメータコントロールシステムです。マスフローメーターとステンレス製ガス混合タンクは移動式キャビネットに設置されています。移動キャビネットは最大1000ポンドの荷重に耐えるため、ほとんどの管状炉に使用できます。管状炉は移動キャビネット上に設置できるため、省スペースが可能です。各チャンネルガス回路の流量設定と状態表示は6インチのタッチスクリーンに集約され、ガス流量曲線とデータをリアルタイムで見ることができます。本装置は、材料工業におけるCVD実験や各種材料のアニール実験に広く使用されています。
チャンネルガス制御システム RTP-1000-LCD 仕様
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特徴
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- 最大50℃/秒の高速昇温
- マルチチャンネルプロトン流量計制御システム搭載、ガス流量カーブとデータをリアルタイムで確認可能
- 超大型パイプ径φ110mm
- 最高温度は900℃に達する
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使用温度
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- 最高。 加熱温度: 900℃ （≤10min）; 800℃ （<30min）; 600℃ （連続的な）
- 加熱速度: ≤50℃ （<800℃）; 10℃/s （800-900）
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定常電圧
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AC 220V単一フェーズ50/60Hz
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電力
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12KW
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PLC の タッチ画面
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- 6 "カラータッチスクリーンコントロールパネルは、簡単にパラメータを設定することができます。
- タッチスクリーン制御とPCリモート切り替え可能、RS485ポートと付属ソフトウェアはPCによるリモート操作のために含まれています。
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機械圧力計
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- 測定範囲：-0.1～0.15MPa（0.01MPa/グリッド）
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ニードルバルブ
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ガス配管
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- ステンレス製ガス混合タンク1基内蔵
- 内部配管：1/4" O.Dステンレス鋼
- 外部配管：1/4" O.D PTFE
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ガス混合タンク
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温度制御
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- 50ステッププログラム可能なソリッドステートリレーによるPID自動制御
- 過熱保護および熱電対故障保護機能内蔵
- 精度+/-1
- Kタイプ熱電対
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保証
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- 1年間の限定保証と生涯サポート
- 注意：腐食性ガスや酸性ガスの使用に起因する損害は、SAM1年限定保証の対象外です。
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装置寸法
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600mm L*855mm W* 700mm H
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認証
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- CE認証
- NRTLまたはCSA認証は別料金で取得可能です。
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チャンネルガス制御システム仕様
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機能
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2チャンネル
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3チャンネル
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4チャンネル
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カスタマイズされた5-9チャンネル
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働く温度
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5~45℃
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最高。圧力
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3*106Pa
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精度
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±1.5%FS
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繰り返し精度
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±0.2%FS
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制御範囲
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コントローラー 1: 1~199 SCCM
コントローラー2: 1~499 SCCM
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コントローラ1: 0~100 SCCM
コントローラ2: 1~199 SCCM
コントローラ3: 1~499 SCCM
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コントローラ 1: 0~100 SCCM
コントローラ 2: 1~199 SCCM
コントローラー3: 1~199 SCCM
コントローラー4: 1~499 SCCM
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コントローラ 1: 0~100 SCCM
コントローラ 2: 1~199 SCCM
コントローラー3: 1~199 SCCM
コントローラー4: 1~499 SCCM
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その他の流量範囲はカスタマイズ可能です：0~100, 1~200, 1~500, 1~1000, 1~5000 sccm.
チャンネルガスコントロールシステム RTP-1000-LCD アプリケーション
チャネルガスコントロールシステム RTP-1000-LCDは、CVD 炉での使用に適しており、ガス環境が様々な材料に与える影響を調べることができます。
チャネルガスコントロールシステム RTP-1000-LCD パッケージング
当社のチャネルガスコントロールシステムRTP-1000-LCDは 、製品の品質を元の状態で維持するために、保管中および輸送中に慎重に取り扱われます。
仕様
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特徴
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- 急速昇温、最大50℃/秒
- マルチチャンネルプロトン流量計制御システム搭載、ガス流量カーブとデータをリアルタイムで確認可能。
- 超大型パイプ径φ110mm
- 最高温度は900℃に達する
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使用温度
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- 最高。 加熱温度: 900℃ （≤10min）; 800℃ （<30min）; 600℃ （連続的な）
- 加熱速度: ≤50℃ （<800℃）; 10℃/s （800-900）
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定常電圧
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AC 220V単一フェーズ50/60Hz
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電力
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12KW
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PLC の タッチ画面
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- 6 "カラータッチスクリーンコントロールパネルは、簡単にパラメータを設定することができます。
- タッチスクリーン制御とPCリモート切り替え可能、RS485ポートと付属ソフトウェアはPCによるリモート操作のために含まれています。
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機械圧力計
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- 測定範囲：-0.1～0.15MPa（0.01MPa/グリッド）
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ニードルバルブ
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ガス配管
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- ステンレス製ガス混合タンク1基内蔵
- 内部配管：1/4" O.Dステンレス鋼
- 外部配管：1/4" O.D PTFE
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ガス混合タンク
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温度制御
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- 50ステッププログラム可能なソリッドステートリレーによるPID自動制御
- 過熱保護および熱電対故障保護機能内蔵
- 精度+/-1
- Kタイプ熱電対
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保証
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- 1年間の限定保証と生涯サポート
- 注意：腐食性ガスや酸性ガスの使用に起因する損害は、SAM1年限定保証の対象外です。
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装置寸法
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600mm L*855mm W* 700mm H
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認証
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- CE認証
- NRTLまたはCSA認証は別料金で取得可能です。
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チャンネルガス制御システム仕様
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機能
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2チャンネル
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3チャンネル
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4チャンネル
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カスタマイズされた5-9チャンネル
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働く温度
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5~45℃
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最高。圧力
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3*106Pa
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精度
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±1.5%FS
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繰り返し精度
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±0.2%FS
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制御範囲
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コントローラー 1: 1~199 SCCM
コントローラー2: 1~499 SCCM
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コントローラ1: 0~100 SCCM
コントローラ2: 1~199 SCCM
コントローラ3: 1~499 SCCM
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コントローラ 1: 0~100 SCCM
コントローラ 2: 1~199 SCCM
コントローラー3: 1~199 SCCM
コントローラー4: 1~499 SCCM
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コントローラ 1: 0~100 SCCM
コントローラ 2: 1~199 SCCM
コントローラ 3: 1~199 SCCM
コントローラー4: 1~499 SCCM
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その他の流量範囲はカスタマイズ可能です：0~100, 1~200, 1~500, 1~1000, 1~5000 sccm.
