1200℃ マイクロ波プラズマアシストCVD (MPCVD) 2インチ管状炉 GSL-1200X-50-MWPE

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IF5731 (生産終了) 1200℃マイクロ波プラズマアシストCVD (MPCVD) 2インチ管状炉 GSL-1200X-50-MWPE

カタログ番号	IF5731
商品番号	GSL-1200X-50-MWPE
動作温度	≤1100℃連続

生産終了

1200Cマイクロ波プラズマアシストCVD(MPCVD) 2インチ管状炉は、2.45GHzマイクロ波発生器と加熱モジュールと2インチ外径石英管を組み合わせたマイクロ波アシスト化学気相蒸着(MPCVD)管状炉です。スタンフォードアドバンストマテリアルズ(SAM)は、高品質のマイクロ波加熱管状炉の製造と供給に豊富な経験を持っています。

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概要

仕様

1200C マイクロ波プラズマ支援 CVD (MPCVD) 2" 管状炉 GSL-1200X-50-MWPE 説明

1200C マイクロ波プラズマアシスト CVD (MPCVD) 2" チューブファーネス GSL-1200X-50-MWPEは、2.45GHz マイクロ波発生器と加熱モジュールと外径2インチの石英管を組み合わせたマイクロ波アシスト化学気相蒸着 (MPCVD) チューブファーネスです。このセットアップは、約4.5torrの真空下で800℃から1200℃までの安定したプラズマ発生を保証する真空密封されたフランジ付きアセンブリを提供します。この炉は、1400W、2.45GHzのマイクロ波チャンバーを装備しています。

安全性を考慮して設計され、マイクロ波放射を保護するステンレスとアルミのシールドが装備されています。毎分20℃までの急速加熱能力と、マイクロ波チャンバー内の加熱モジュールの最高使用温度1200℃は、効率的な処理を保証します。また、±1℃以内の精度を維持する30セグメントのプログラマブルコントローラーにより、精密な温度制御が可能です。