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IF5731 (生産終了) 1200℃マイクロ波プラズマアシストCVD (MPCVD) 2インチ管状炉 GSL-1200X-50-MWPE

生産中止 IF5731 (生産終了) 1200℃マイクロ波プラズマアシストCVD (MPCVD) 2インチ管状炉 GSL-1200X-50-MWPE

カタログ番号	IF5731
商品番号	GSL-1200X-50-MWPE
動作温度	≤1100℃連続

生産終了

1200Cマイクロ波プラズマアシストCVD(MPCVD) 2インチ管状炉は、2.45GHzマイクロ波発生器と加熱モジュールと2インチ外径石英管を組み合わせたマイクロ波アシスト化学気相蒸着(MPCVD)管状炉です。スタンフォードアドバンストマテリアルズ(SAM)は、高品質のマイクロ波加熱管状炉の製造と供給に豊富な経験を持っています。

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1200C マイクロ波プラズマ支援 CVD (MPCVD) 2" 管状炉 GSL-1200X-50-MWPE 説明

1200C マイクロ波プラズマアシスト CVD (MPCVD) 2" チューブファーネス GSL-1200X-50-MWPEは、2.45GHz マイクロ波発生器と加熱モジュールと外径2インチの石英管を組み合わせたマイクロ波アシスト化学気相蒸着 (MPCVD) チューブファーネスです。このセットアップは、約4.5torrの真空下で800℃から1200℃までの安定したプラズマ発生を保証する真空密封されたフランジ付きアセンブリを提供します。この炉は、1400W、2.45GHzのマイクロ波チャンバーを装備しています。

安全性を考慮して設計され、マイクロ波放射を保護するステンレスとアルミのシールドが装備されています。毎分20℃までの急速加熱能力と、マイクロ波チャンバー内の加熱モジュールの最高使用温度1200℃は、効率的な処理を保証します。また、±1℃以内の精度を維持する30セグメントのプログラマブルコントローラーにより、精密な温度制御が可能です。

1200℃ マイクロ波プラズマアシストCVD (MPCVD) 2インチ管状炉 GSL-1200X-50-MWPE 仕様

特徴	1400W 2.45 GHz マイクロ波チャンバーマイクロ波放射から保護するステンレスとアルミのシールドマイクロ波チャンバー内の加熱モジュール 30セグメントで±1℃以内でプログラム可能な精密温度制御真空鋳造の断熱材で最大限の省エネ。
マイクロ波	周波数： 2.45 GHz ±25 MHz 出力1400W 漏れるマイクロウェーブ: 1 メートルの距離で≤ 3 mW/cm の ²。
加熱モジュールと加工管	内径80 mmのNi-Cr-Alワイヤー加熱コインを繊維状アルミナモジュール内に設置。加熱コイルはマイクロ波チャンバー内に設置 2インチ石英管（外径50×内径44×長さ600mm）を加熱モジュールとマイクロ波チャンバー内に挿入し、プラズマを発生させる。
電力	2000W、208-240VAC、単相、50/60Hz
フランジと真空	石英管をシールするための真空フランジが1組付属しています。 KF25真空ポート、ニードルバルブ付き1/4ガスインレットとアウトレットがフランジに内蔵されています。真空制御用デジタル真空計1台付属最大真空度ドライポンプで10-²torr、ターボポンプで¹⁰-5torr。ポンプは付属しません。
使用温度	最高使用温度温度: 1200℃ （<30分）; ≤1100℃連続的。最低。温度: 800 加熱速度1 ~20℃/分
温度コントローラー	加熱速度、ドエル温度と時間、冷却速度をプログラム可能な30セグメント SCR温度制御過熱および熱カップル壊れた保護制御精度 +/-1.0 フランジを貫通するK型サーマルカップル
正味重量	30kg
寸法	マイクロ波: 560(L) x 410(W) x 340(H) mm チューブとフランジを含む総奥行き780 mm コントローラー: 600(L) x 520(W) x 265(H) mm
保証	1年間限定保証、生涯サポート付きるつぼ、発熱体、断熱材などの消耗品は保証対象外。注意：腐食性ガスおよび酸性ガスの使用に起因する損害は、SAM 1年限定保証の対象外となります。
保証書	CE認証 NRTLまたはCSA認証も可能です。

1200℃ マイクロ波プラズマアシスト CVD (MPCVD) 2インチ管状炉 GSL-1200X-50-MWPE 用途

材料の合成と加工この炉はセラミック、ガラス、複合材料のような複雑な材料の合成に最適です。
セラミックおよび金属の焼結：マイクロ波炉の迅速な高温性能は、セラミックや金属粉末の焼結に理想的です。
研究開発：マイクロ波管状炉は、新素材の開発や制御された条件下での熱処理プロセスの研究のために、大学や工業研究室で広く使用されています。

1200C マイクロ波プラズマアシストCVD (MPCVD) 2インチ管状炉 GSL-1200X-50-MWPE パッケージング

当社の1200Cマイクロ波プラズマアシストCVD（MPCVD）2インチ管状炉GSL-1200X-50-MWPEは 、製品の品質を元の状態で維持するため、保管中および輸送中に慎重に取り扱われます。

仕様

特徴	1400W 2.45GHzマイクロ波チャンバーマイクロ波から保護するステンレスとアルミのシールドマイクロ波チャンバー内の加熱モジュール 30セグメント、±1℃以内でプログラム可能な精密温度制御真空鋳造の断熱材で最大限の省エネ。
マイクロ波	周波数： 2.45 GHz ±25 MHz 出力1400W 漏れるマイクロウェーブ: 1 メートルの距離で≤ 3 mW/cm の ²。
加熱モジュールと加工管	内径80 mmのNi-Cr-Alワイヤー加熱コインを繊維状アルミナモジュール内に設置。加熱コイルはマイクロ波チャンバー内に設置 2インチ石英管（外径50×内径44×長さ600mm）を加熱モジュールとマイクロ波チャンバー内に挿入し、プラズマを発生させる。
電力	2000W、208-240VAC、単相、50/60Hz
フランジと真空	石英管をシールするための真空フランジが1組付属しています。 KF25真空ポート、ニードルバルブ付き1/4ガスインレットとアウトレットがフランジに内蔵されています。真空制御用デジタル真空計1台付属最大真空度ドライポンプで10-²torr、ターボポンプで¹⁰-5torr。ポンプは付属しません。
使用温度	最高使用温度温度: 1200℃ （<30分）; ≤1100℃連続的。最低。温度: 800 加熱速度1 ~20℃/分
温度コントローラー	加熱速度、ドエル温度と時間、冷却速度をプログラム可能な30セグメント SCR温度制御過熱および熱カップル壊れた保護制御精度 +/-1.0 フランジを貫通するK型サーマルカップル
正味重量	30kg
寸法	マイクロ波: 560(L) x 410(W) x 340(H) mm チューブとフランジを含む総奥行き780 mm コントローラー: 600(L) x 520(W) x 265(H) mm
保証	1年間限定保証、生涯サポート付きるつぼ、発熱体、断熱材などの消耗品は保証対象外。注意：腐食性ガスおよび酸性ガスの使用に起因する損害は、SAM 1年限定保証の対象外となります。
保証書	CE認証 NRTLまたはCSA認証も可能です。

*上記の製品情報は理論値に基づくもので、参考用です。実際の仕様は異なる場合があります。

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