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カタログ番号 | IF5733 |
商品番号 | OTF-1200X-RTP-5S |
動作温度 | ≤1100℃連続 |
1200℃スライディング管状炉は、抵抗加熱と電動スライディングモーターを搭載し、効率的な急速加熱と冷却を可能にした汎用性の高い5インチスライディング炉です。スタンフォードアドバンストマテリアルズ(SAM)は、高品質のスライディング管状炉の製造と供給に豊富な経験を持っています。
関連製品1100℃真空チャンバー炉 VBF-1200X-H8、500℃真空オーブン(真空ポンプ・水冷装置付) DZF-6090-HT、1200℃ボトムローディング真空炉(急速冷却装置付) VBF-1200X-E8、800℃チャンバー式高真空炉 VBF-800X-H
1200℃急速昇温用スライディング管状炉 OTF-1200X-RTP-5Sは、抵抗加熱と電動スライディングモーターを装備し、効率的な急速昇温・冷却が可能な汎用性の高い5インチスライディング管状炉です。最大加熱速度2℃/秒、最大冷却速度4℃/秒を効率よく達成し、最大直径4インチまでのウェハーを1200℃の高温でアニールすることができます。本装置は二重構造の鋼製ケーシングに収められており、炉外温度が60℃以下に保たれるよう空冷されています。
炉構造 |
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電源 |
3KW、208-240VAC、単相、50/60Hz |
使用温度 |
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スライディング制御 |
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温度コントローラー |
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真空コントローラー |
真空ポンプによる制限
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正味重量 |
110kg |
寸法 |
1300 x 550 x 600 mm(炉閉時) 1300 x 750 x 850 mm(炉開時) 350 x 250 x 410 mm(コントロールボックス) |
保証 |
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認証 |
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当社の急速熱処理用1200℃スライディング管状炉OTF-1200X-RTP-5Sは 、製品の品質を元の状態で維持するために、保管中および輸送中に慎重に取り扱われます。
炉の構造 |
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電源 |
3KW、208-240VAC、単相、50/60Hz |
使用温度 |
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スライディング制御 |
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温度コントローラー |
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真空コントローラー |
真空ポンプによる制限
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正味重量 |
110kg |
寸法 |
1300 x 550 x 600 mm(炉閉時) 1300 x 750 x 850 mm(炉開時) 350 x 250 x 410 mm(コントロールボックス) |
保証 |
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認証 |
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