インジウムスズ酸化物(ITO)スパッタリングターゲットの説明
酸化インジウムスズ(ITO)は、酸化インジウム(In2O3)と酸化スズ(SnO2)の固溶体であり、通常重量比でIn2O3が90%、SnO2が10%です。インジウム・スズ酸化物(ITO)は、その導電性と光学的透明性から、最も広く使用されている透明導電性酸化物のひとつである。酸化インジウムスズの薄膜は、物理的気相成長法(PVD)によって表面に蒸着されるのが一般的である。
ITOは、液晶ディスプレイ、フラットパネルディスプレイ、プラズマディスプレイ、タッチパネル、電子インクなどのディスプレイ用の透明導電性コーティングによく使用される。ITO薄膜は有機発光ダイオード、太陽電池、帯電防止コーティング、EMIシールドに使用され、ITOは有機発光ダイオードの陽極として使用される。
さらに、ITOは様々な光学コーティングにも使用されており、特に自動車用の赤外線反射コーティング(ホットミラー)やナトリウム蒸気ランプのガラスに使用されている。
ITO薄膜ひずみゲージは、1400℃までの温度で作動することができ、ガスタービン、ジェットエンジン、ロケットエンジンなどの過酷な環境で使用することができます。
LCD用の透明導電体として、他の材料(例えばAZO)と比較したITOの主な利点は、ITOを微細パターンに正確にエッチングできることです。
インジウムスズ酸化物(ITO)スパッタリングターゲット仕様
材質
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90% In2O3+10% SnO2 / 95% In2O3+5% SnO2
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純度
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≥99.99%
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密度
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7.1g/cm3
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融点
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~1400℃
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形状
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丸型
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結合の種類
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インジウム、エラストマー
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*上記製品情報は理論値です。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。
ITOスパッタリングターゲット用途
タッチパネル、ディスプレイ用透明導電膜
太陽電池電極
帯電防止およびEMIシールドフィルム
透明性と導電性が要求される光学コーティング
インジウム・スズ酸化物(ITO)スパッタリングターゲット 梱包
当社の製品は、材料の寸法に基づいて様々なサイズのカスタマイズされたカートンに梱包されています。小さな商品はPP箱にしっかりと梱包され、大きな商品は特注の木箱に入れられます。梱包のカスタマイズを厳守し、適切な緩衝材を使用することで、輸送中に最適な保護を提供します。
梱包カートン、木箱、またはカスタマイズ。

酸化インジウムスズ(ITO)スパッタリングターゲットFAQ
1.ITOスパッタリングターゲットとは何ですか?
ITOスパッタリングターゲットとは、透明導電膜を成膜するためのスパッタリングプロセスでソースとして使用される酸化インジウムと酸化スズからなる高純度セラミック材料です。
2.ITOターゲットの代表的な組成は?
一般的な組成は、In₂O₃とSnO₂の重量比90:10または95:5で、導電性と透明性に最適化されている。
3.ITOターゲットと互換性のあるスパッタリング方法は?
ITOターゲットは、RFおよびDCマグネトロンスパッタリングシステムと互換性があります。
ITOコーティングされたPETやガラスも提供可能です!
製品安全データシート
スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)について
スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)社は、純金属、合金、セラミック、酸化物、塩化物、硫化物、オキシザルトなどの鉱物を提供する世界的なサプライヤーです。米国カリフォルニア州アーバインにある本社は1994年に設立され、研究開発(R&D)向けに高品質のレアアース製品の提供を開始しました。
仕様
材質
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90% In2O3+10% SnO2 / 95% In2O3+5% SnO2
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純度
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≥99.99%
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密度
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7.1g/cm3
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融点
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~1400℃
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形状
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丸型
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結合の種類
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インジウム、エラストマー
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*上記製品情報は理論値です。具体的なご要望、詳細につきましては、お問い合わせください。