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AL10296 2インチシリコン(Si <111> Nタイプ)上のアンドープ窒化アルミニウムAlNテンプレート 2インチ x 500 nm

カタログ番号 AL10296
素材 AlN, Si
サイズ 2インチ x 500 nm

2インチシリコン上のアンドープ窒化アルミニウムAlNテンプレート(Si <111> Nタイプ)2インチ×500 nmは、(111)配向の2インチシリコンウェハー上に500 nmのAlN膜を特徴とするセラミック基板です。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)は、膜の均一性と厚さをモニターするために、SEM検査と組み合わせた高度なCVDプロセスを採用しています。このアプローチにより、膜の欠陥を最小限に抑え、半導体および電子デバイス製造の統合に不可欠な一貫性を確保します。

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