CY11163 アルミニウム（Al）コートシリコンウェハ

カタログ番号	CY11163
素材	アルミニウム、シリコン
純度	Al: ≥99.999
フォーム	基板

アルミニウム(Al)コーティングシリコンウェハは、半導体プロセス用に表面特性を向上させるアルミニウム蒸着が施されたシリコン基板です。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）では、蒸着時に高度なスパッタリング技術と精密な膜厚測定法を適用しています。このプロセスには、インラインの光学検査と寸法確認が含まれ、高精度のデバイス製造に不可欠な一貫した層の均一性と最小限の表面欠陥を保証します。

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FAQ

アルミニウム・コーティングは、半導体製造におけるウェハーの性能にどのような影響を与えるのでしょうか？

アルミニウム層は導電性を向上させ、拡散バリアとして機能する。制御された成膜により界面欠陥が最小限に抑えられ、高精度のリソグラフィーやデバイス集積に適しています。技術的な詳細についてはお問い合わせください。

アルミニウムでコーティングされたシリコンウエハーには、どのような洗浄と取り扱いが推奨されますか？

クリーンルーム環境では、溶剤ベースの洗浄を使用することが望ましい。ピンセットと静電気防止対策で取り扱うことで、加工中の汚染や物理的損傷を防ぎ、表面の完全性を維持することができます。

ウェハー表面に均一なコーティングを施すために、アルミニウム蒸着プロセスはどのように制御されていますか？

この成膜は、インラインで膜厚をモニタリングしながら制御されたスパッタリングプロセスを採用している。これにより、ウェーハ全体に均一なアルミニウム層が形成され、その後の半導体製造工程におけるばらつきが低減されます。プロセスの詳細についてはお問い合わせください。

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パラメータ	値
材料	アルミニウム、シリコン
純度	アルミニウム:≥99.999
形状	基板
寸法	Dia.：4インチ* 0.525ミリメートル、10 * 10 * 0.525ミリメートル、カスタマイズされた
接着層	なし
Al厚さ	1000 Å
コーティング面積	シングルサイズ（またはカスタマイズ

パラメータ	値
材質	アルミニウム、シリコン
純度	アルミニウム:≥99.999
形状	基板
寸法	Dia.：4インチ* 0.525ミリメートル、10 * 10 * 0.525ミリメートル、カスタマイズされた
接着層	なし
Al厚さ	1000 Å
コーティング面積	シングルサイズ（またはカスタマイズ

CY11163 アルミニウム（Al）コートシリコンウェハ

アルミニウム（Al）コートシリコンウェハーの説明

アルミニウム（Al）コーティングシリコンウェハーの特性

アルミニウム（Al）コートシリコンウェハーの用途

アルミニウム（Al）コーティングシリコンウェハーの梱包

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FAQ

アルミニウム・コーティングは、半導体製造におけるウェハーの性能にどのような影響を与えるのでしょうか？

アルミニウムでコーティングされたシリコンウエハーには、どのような洗浄と取り扱いが推奨されますか？

ウェハー表面に均一なコーティングを施すために、アルミニウム蒸着プロセスはどのように制御されていますか？

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