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CY9489 300mmPタイプ(Bドープ)シリコンウェーハ基板テストグレード(100)、DSP、1-100Ω・cm

カタログ番号 CY9489
素材 Si
形状 ディスク
フォーム 基板

300mmPタイプ(Bドープ)シリコンウェーハ基板テストグレード(100)、DSP、1-100Ω-cmは、結晶方位を(100)に制御した半導体テスト用シリコン基板です。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)は、1~100 Ω-cmの抵抗値を確保するために、厳格なボロンドープレジメンと高解像度イメージングを含むインライン欠陥評価技術を利用しています。DSP処理により、表面の欠陥はさらに最小限に抑えられ、これは精密な電気性能評価に不可欠です。

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