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CY9490 100 mm Nタイプ(Pドープ)シリコンウェーハ基板プライムグレード(100)、SSP、1-10 Ω-cm

カタログ番号 CY9490
素材 Si
形状 ディスク
フォーム 基板

100mmNタイプ(Pドープ)シリコンウェーハ基板プライムグレード(100)、SSP、1-10Ω-cmは、(100)配向で抵抗率が1~10Ω-cmに制御された単結晶シリコンウェーハです。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)では、精密なPドーピングと熱処理を行い、その後、ドーパントの均一性と欠陥密度をモニターするための計測技術を用いた寸法検査と表面検査を行います。

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