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  • FE10669 鉄シリコンボロンターゲット（FeSiBターゲット）

    • FE10669 鉄シリコンボロンターゲット（FeSiBターゲット）

    カタログ番号 FE10669
    構成 Fe、Si、B
    寸法 カスタマイズ
    フォーム ターゲット

    鉄シリコンボロンターゲット（FeSiBターゲット）は、成膜特性を最適化するためにシリコンとボロンの添加を制御した鉄ベースの合金ターゲットです。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）は、スパッタリングプロセス監視中に高分解能分光法を採用し、均一な組成分布を確保しています。詳細な微細構造分析とin-situエミッション測定により、ターゲットの一貫性を検証します。この体系的な品質管理により、ばらつきを最小限に抑え、研究および産業用途にわたる精密な薄膜作製をサポートします。

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    FAQ

    シリコンとボロンの添加はターゲットのスパッタリング性能にどのような影響を与えるのか？

    鉄マトリックスにケイ素とホウ素が含まれることで、微細構造が微細化され、スパッタリング中の膜の密着特性が変化する。これらの元素は、ターゲット侵食の均一性を向上させ、成膜速度を制御することができ、基板全体で一貫した薄膜層を実現する上で有益である。

    ターゲットの製造過程で、どのような品質管理方法が実施されているか？

    SAMは、合金の一貫性を監視するために、製造後の微細構造分析と組み合わせたin-situ発光分光法を利用しています。これらの技術は、組成のばらつきを早期に検出するのに役立ち、各ターゲットが再現可能な蒸着性能に不可欠な必要な均質性を維持することを保証します。

    特定の成膜プロセス用にターゲット組成を調整することはできますか？

    はい、特定のプロセス要件に合わせて合金組成を調整することができます。蒸着速度や膜の均一性などのパラメータを最適化するために、シリコンやボロンのレベルを変更することができます。カスタマイズの詳細と技術サポートについては、弊社までお問い合わせください。

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    FA1455 フェロタングステン粉(Fe/W)
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    Ferro Niobium (FeNb) Powder
    FE1476 フェロ・ニオブ(FeNb)粉末
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    Ferro Aluminum Powder (Fe/Al Powder)
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    FA1496 電解マンガン粉
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    Nano Iron Nickel Alloy Powder
    NN1560 ナノ鉄ニッケル合金粉(Fe-Ni)
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