窒化ケイ素脱ガスローター

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シリコン

カタログ番号	SM9727
化学式	Si3N4
分子量	140.28 g/mol
密度	3.18 - 3.44 g/cm³

窒化ケイ素脱ガスローターは、効率的なガス排出が重要な用途向けに設計された高純度Si3N4を使用して製造されています。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)は、材料の一貫性とローターの形状をモニターするために、制御された焼結と電子顕微鏡による微細構造評価を採用しています。ローターは、構造的完全性を維持しながら、高温処理中の揮発性化合物を最小限に抑えるように設計されています。SAMは、微細構造の安定性を確保するための具体的な品質管理手段として、経験的な熱サイクル試験を利用しています。

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概要

仕様

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窒化ケイ素ガス抜きローター説明

窒化ケイ素(Si3N4)から製造される窒化ケイ素脱ガスローターは、高温で動作する処理装置における脱ガスの役割のために開発されました。この材料の化学的不活性と熱安定性は、セラミックおよび半導体環境における揮発性汚染を軽減するのに役立ちます。その設計された微細構造は、動的な動作下で機械的完全性を維持しながら、効率的なガス除去を容易にします。このコンポーネントは、高温処理中の不純物を低減することで、プロセスの最適化をサポートするように設計されています。

窒化ケイ素脱ガスローターの用途

1.半導体製造
- 真空炉のローターとして使用され、その化学的不活性を利用して低コンタミネーションを実現します。これにより、ガスの混入が最小限に抑えられ、プロセス全体の純度が向上します。

2.セラミック加工
- 高温オーブンの脱ガス用部品として使用され、効率的なガス排出を利用して、捕捉された揮発性物質を除去します。これにより、セラミック製品の緻密化が促進され、気孔率が減少する。

3.産業機器
- 工業炉内の脱気システムの部品として、その熱安定性を利用して雰囲気組成を制御します。このアプローチにより、加工欠陥が減少し、材料の均質性が向上する。

窒化ケイ素脱ガスローターパッキング

ローターは、機械的衝撃と汚染を防ぐため、クッション性のある帯電防止容器に梱包されます。保護包装と密封パウチにより、輸送中の湿気や化学物質への暴露を防ぎます。包装は、制御された環境を維持するように設計されており、設置前の完全性を保証します。湿気バリアバッグや発泡裏地付きケースなどのカスタム包装オプションもあり、特定の保管および取り扱い要件を満たすことができます。

よくある質問

Q1: ローターは高温サイクルの間、どのように性能を維持するのですか？
A1: Si3N4組成のローターは、急激な温度変化による劣化を最小限に抑える熱安定性を示します。経験的な熱サイクルと微細構造評価により、運転時のストレス下でも寸法品位とガス排出能力が安定していることが確認されています。

Q2: ローターの微細構造を確認するために、どのような手段を用いていますか？
A2: SAMでは、電子顕微鏡検査と制御焼結試験を実施して、結晶粒径と相分布を検査しています。これらの手順は、ローターが高温用途での効果的な脱ガスに必要な厳しい組織基準を満たすことを確認するのに役立ちます。

Q3: ローターの設計は、さまざまな処理システムに適応できますか？
A3: はい、ローターの寸法と表面仕上げを変更するカスタマイズ・オプションが利用可能です。この適応性により、様々な処理環境との互換性が保証され、特定のシステム要件に対してガス除去性能を最適化するための的を絞った調整が可能になります。

追加情報

窒化ケイ素セラミックは、熱衝撃や化学的攻撃に対する耐性で、材料科学の分野で広く認められています。この材料の構造は、極限環境で効果的な性能を発揮することを可能にし、高温下での安定性が重要な用途に適しています。エンジニアは、機械的強度と不活性挙動のバランスを必要とする部品にSi3N4を利用しています。

窒化ケイ素の基本的な特性を理解することで、高度な加工システムへの統合が可能になります。焼結プロトコルと微細構造を最適化するための研究が続けられており、これは工業用脱ガス用途のコンポーネントの性能と寿命に直接影響します。

仕様

仕様	詳細
分子量	140.28 g/mol
密度	3.18 - 3.44 g/cm³
融点	~1900 °C（分解する
曲げ強さ（3点	800 - 1000 MPa
破壊靭性	5.0 - 8.0MPa-√m
ヤング率	310 GPa
ビッカース硬度	14 - 17 GPa
熱膨張係数	2.6 ×10-⁶/k(40-400°c)
熱伝導率	85 W/(m-K) at 25°C
誘電率	7.8-9.4（1MHzにて
体積抵抗率	25°C で>10¹⁴ Ω-cm