ST10712 白金ロータリースパッタリングターゲット Ptターゲット

カタログ番号	ST10712
素材	プラチナ
純度	≥99.9%以上、またはカスタマイズ
フォーム	ターゲット
形状	ロータリー

白金ロータリースパッタリングターゲット白金ターゲットは、安定したスパッタリング性能を実現するために、組成と微細構造を厳密に制御して製造される。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）社によって製造されたターゲットは、純度と均一性を確認するために、厳密な冶金分析と化学分析が行われます。SAMは、加工中の材料パラメータを監視するために、高度な顕微鏡検査と組成分析を採用しており、ターゲットが物理蒸着システムの厳密な要件を満たしていることを保証します。

問い合わせ

概要

仕様

レビュー

FAQ

微細構造の均一性はスパッタリング性能にどのように影響するのか？

均一な微細構造は、スパッタリング中の浸食の局所的なばらつきを最小限に抑え、成膜速度を一定に保ち、微粒子の発生を低減します。定期的な冶金学的検査により、このような均一性が確保され、蒸着用途での予測可能な性能に貢献します。

スパッタリング前の表面汚染を防ぐために、どのような対策を取ることができますか？

超音波洗浄やプラズマエッチングを含むスパッタリング前の洗浄手順は、汚染リスクを低減します。また、低湿度で微粒子への暴露を最小限に抑えた管理された保管環境を維持することで、使用までターゲットの表面の完全性を保つことができます。

このターゲットの生産には、どのような品質管理プロセスが適用されるのか？

ターゲットは、その純度と均一性を確認するために、包括的な化学分析と顕微鏡検査を受けます。最適なスパッタリング性能に不可欠な厳密な組成および微細構造の基準を満たしていることを確認するため、インプロセス密度および相の測定が行われます。

お見積り依頼

本日お問い合わせください。詳細をご確認いただき、最新の価格情報をご提供いたします。ありがとうございます！

特性	値
形状	ターゲット
材質	プラチナ
寸法	カスタマイズ
純度	≥99.9%以上、またはカスタマイズ
密度 (g/cm³)	~21.45
融点 (°C)	~1768
分子量	195.08 g/mol
電気抵抗率	10.6 µΩ-cm
熱伝導率	71.6 W/m-K

特徴	価値
形状	対象
材質	プラチナ
寸法	カスタマイズ
純度	≥99.9%以上、またはカスタマイズ
密度 (g/cm³)	~21.45
融点 (°C)	~1768
分子量	195.08 g/mol
電気抵抗率	10.6 µΩ-cm
熱伝導率	71.6 W/m-K

ST10712 白金ロータリースパッタリングターゲット Ptターゲット

白金ロータリースパッタリングターゲット Ptターゲット商品概要

白金ロータリースパッタリングターゲット Ptターゲットの特性

白金ロータリースパッタリングターゲット Ptターゲット用途

白金ロータリースパッタリングターゲット Ptターゲット包装

追加情報

仕様

技術データシート

事例

カスタマーレビュー