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ST11165 銀ターゲット、銀ターゲット

カタログ番号 ST11165
構成 アグ
純度 ≥99.99%
フォーム ターゲット
形状 長方形
寸法 カスタマイズ

銀プレーナーターゲット、Agターゲットは、効果的な薄膜堆積のために高純度銀と平坦な平面で製造された銀スパッタリングターゲットです。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)では、製造中に分光分析とSEMイメージングを行い、微細構造の一貫性を監視しています。この品質管理プロセスにより、不純物や寸法のばらつきを最小限に抑え、制御された蒸着特性を必要とする用途でターゲットの性能を保証します。SAMの施設には、正確な寸法検証のためのレーザースキャンも組み込まれています。

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概要
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FAQ

銀スパッタリングターゲットを使用する場合、どのような加工上の注意が重要ですか?

重要な要素には、ターゲット表面を清浄に保つこと、スパッタリングチャンバーの温度と圧力を制御することなどがある。電子顕微鏡による定期的な検査は、表面の均一性を確保し、潜在的な蒸着欠陥を最小限に抑えるのに役立ちます。詳細なプロセス最適化戦略については、当社までお問い合わせください。

微細構造は銀スパッタリングターゲットの性能にどのような影響を与えるのか?

均一な微細構造は、局所的な侵食を低減し、均一な成膜を確保することで、スパッタリングの安定性を高める。粒径のばらつきは、スパッタ速度と膜の均一性に影響する。SEMとプロフィロメトリーを使用することで、高性能アプリケーションのターゲットの完全性を確認することができます。

銀スパッタリングターゲットを使用する前に、どの洗浄プロトコルを推奨しますか?

典型的な手順には、表面の酸化物や汚染物質を除去するための溶剤洗浄やプラズマ前処理が含まれる。これらの方法は、膜の密着性と成膜品質を向上させる。性能を維持するために、分光分析による定期的な表面検査をお勧めします。

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