ST11166 アルミ平板ターゲット、Alターゲット

スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）は、高度な機械加工と材料精製プロセスにより、正確な寸法と最小限の表面欠陥を維持しています。光学検査と走査型電子顕微鏡を含む厳密な品質管理により、均一性と組成を確認し、スパッタリング用途の厳しい技術要件を満たす製品であることを保証します。

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FAQ

スパッタリング速度は、ターゲット表面の均一性、アルミニウムの純度、平面仕上げの一貫性などの要因に依存する。これらのパラメータにばらつきがあると、成膜速度と膜の均一性が変化する。厳密な寸法および表面品質の維持は、スパッタリング性能の最適化に役立つ。

材料純度を高めることで、成膜時のコンタミを最小限に抑え、スパッタ膜の欠陥を低減します。制御された純度レベルは、均一な電気的および光学的特性を必要とするアプリケーションにとって重要である、一貫したフィルム特性を維持することを保証します。純度の向上は、フィルムの品質に直接貢献します。

アルミ平板ターゲットは、様々なスパッタリングシステム要件に適合するよう、カスタマイズされた寸法でご利用いただけます。サイズと表面仕上げを調整することで、さまざまな蒸着セットアップとの互換性を確保し、プロセスの成果を最適化します。詳細なカスタマイズオプションについてはお問い合わせください。

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アルミニウム平板ターゲット、Alターゲットの説明