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ST11167 アルミニウム回転ターゲット、Alターゲット

カタログ番号 ST11167
構成 アル
純度 ≥99.99%
フォーム ターゲット
形状 チューブラー
寸法 カスタマイズ

アルミニウムロータリーターゲット、Alターゲットは、スパッタリング用途の高純度アルミニウムから製造されます。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)は、最適化された材料特性を達成するために、精密な機械加工と制御された溶解プロセスを利用しています。製造は、寸法精度と微細構造の均一性を確認するために、特定の冶金学的検査と表面画像技術を用いて監視されます。SAMのプロセス統合は、カスタマイズされた構成における一貫性を保証し、物理的気相成長における厳しいプロセス要件を満たします。

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FAQ

アルミニウムの組成は、スパッタリング・プロセスにおける成膜の安定性にどのような影響を与えるのか?

高純度アルミニウムが安定した気化をサポート。制御された微細構造がスパッタリング中の変動を最小限に抑え、均一な蒸着速度と安定した膜特性を保証します。

カスタマイズされたディメンジョン機能は、どのような点で既存システムへの統合に役立ちますか?

カスタマイズされた寸法により、ターゲットは様々なスパッタリングシステムに適合する。この柔軟性により、レトロフィットの課題を最小限に抑え、効率的な統合を実現し、最小限の調整で最適な成膜パラメーターを維持します。

ターゲットの品質を確認するために、製造中にどのような検査技術が採用されるのか?

製造工程では、光学顕微鏡や表面マッピングなどの冶金学的評価が行われる。これらの技術は、微細構造の均一性と寸法精度を検証し、各ターゲットが事前に定義された生産基準を満たしていることを保証します。詳細はお問い合わせください。

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