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  • ST11170 アルミニウムシリコンプレーナターゲット、AlSiターゲット

    • ST11170 アルミニウムシリコンプレーナターゲット、AlSiターゲット

    カタログ番号 ST11170
    構成 Al、Si
    内容 ≥99.99%以上、またはカスタマイズ
    フォーム ターゲット
    形状 長方形
    寸法 カスタマイズ

    アルミニウムシリコンプレーナーターゲット、AlSiターゲットは、薄膜堆積プロセス用にアルミニウムシリコン合金から設計されたスパッタリングターゲットです。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）は、合金の均一性と組成を確認するために、SEMベースの微細構造分析を含む厳密な分析方法を採用しています。SAMは、製造中に体系的な品質管理プロトコルを使用して合金の一貫性を監視し、ターゲットが精密スパッタリング用途に必要な詳細仕様を満たすことを保証します。

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    FAQ

    合金組成はスパッタリング性能にどのような影響を与えますか？

    アルミニウムとシリコンの比率は、膜の均一性と蒸着速度に影響します。制御された組成は微粒子を最小限に抑え、再現性のある薄膜特性を保証します。この一貫性は、均一な電気的および機械的特性を必要とするデバイスにとって不可欠です。

    ターゲットの表面品質を維持するために、どのような対策がとられているのか？

    SAMは、表面粗さ測定や顕微鏡検査を含む体系的な品質管理を適用し、あらゆる欠陥を検出して軽減します。これらの対策は、成膜チャンバーでの均一なスパッタリングに不可欠な平坦面の維持に役立っています。

    異なるスパッタリングシステム用にターゲットの寸法を調整できますか？

    様々なスパッタリングシステムに適合するよう、寸法はカスタマイズ可能です。ターゲットサイズの調整により、特定の成膜チャンバー設計に対応し、互換性と最適な成膜効率を保証します。詳細なカスタマイズについては、お問い合わせください。

    最終推奨

    Zinc / Aluminum Wire
    ZN1223 亜鉛/アルミニウムワイヤー（Zn/Alワイヤー）
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    Aluminum Lithium Alloy (Al-Li Alloy)
    LM1298 アルミニウムリチウム合金（Al-Li合金）
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    Zinc Aluminum Cadmium Alloy Wire (Zn/AI/Cd Alloy Wire)
    ZN1346 亜鉛アルミニウムカドミウム合金線（Zn/AI/Cd合金線）
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    Zinc Aluminum Cadmium Alloy Sheet / Foil / Ribbon
    ZN1347 亜鉛アルミニウムカドミウム（Zn-Al-Cd）合金シート/箔/リボン
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    Nickel Aluminum Alloy Wire
    TSW1366 ニッケルアルミニウム合金線（Ni-Al合金線）
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    Aluminum Magnesium Alloy Wire (Al-Mg Alloy)
    TSW1367 アルミニウムマグネシウム合金線（Al-Mg合金）
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    ALUMINUM ALLOY 1050 Foil
    ALF1461 アルミニウム合金1050箔
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    ALUMINUM ALLOY 1100 Foil
    ALF1462 アルミニウム合金1100箔
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