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  • ST11172 アルミニウム亜鉛インジウムシリコン平面ターゲット、AlZnInSiターゲット

    • ST11172 アルミニウム亜鉛インジウムシリコン平面ターゲット、AlZnInSiターゲット

    カタログ番号 ST11172
    構成 Al、Zn、In、Si
    純度 ≥90%
    フォーム ターゲット
    形状 長方形
    寸法 カスタマイズ

    アルミニウム亜鉛インジウムシリコンプレーナーターゲット、AlZnInSiターゲットは、スパッタリング用途の一貫した多元素組成を保証する制御された合金化プロセスを使用して製造されます。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）は、組成の均一性を確認するために、系統的な元素分析と電子顕微鏡による表面形態検査を採用しています。この製品は、正確な合金比率を維持するために厳格な工程管理で製造されており、高度な薄膜蒸着システムの厳しい要件を満たしています。

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    FAQ

    AlZnInSiターゲットを使用する場合、どのようなスパッタリングシステムパラメーターを考慮する必要がありますか？

    成膜速度を最適化するためには、出力密度と作動圧力の調整が必要である。オペレーターは、ターゲットのカスタマイズされた寸法に合わせてスパッタリングシステムを較正し、均一な膜成長と制御された元素分布を確保する必要がある。

    多元素組成は析出均一性にどのような影響を与えるのか？

    統合された合金元素により、ターゲット表面全体でバランスの取れたスパッタリング収量が可能になる。この組成は、成膜中の局所的なばらつきを最小限に抑え、半導体デバイス製造に不可欠な一貫した層厚と組成を保証します。

    対象表面を維持するために推奨される特定のクリーニング・プロトコルはありますか？

    非研磨性溶剤を使用した定期的な洗浄と、厳密な粒子管理をお勧めします。適切な取り扱いは、表面汚染を最小限に抑え、ターゲットの平面的な完全性を維持し、高精度スパッタリング用途での性能を維持します。

    最終推奨

    Zinc / Aluminum Wire
    ZN1223 亜鉛/アルミニウムワイヤー（Zn/Alワイヤー）
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    Aluminum Lithium Alloy (Al-Li Alloy)
    LM1298 アルミニウムリチウム合金（Al-Li合金）
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    Zinc Aluminum Cadmium Alloy Wire (Zn/AI/Cd Alloy Wire)
    ZN1346 亜鉛アルミニウムカドミウム合金線（Zn/AI/Cd合金線）
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    Zinc Aluminum Cadmium Alloy Sheet / Foil / Ribbon
    ZN1347 亜鉛アルミニウムカドミウム（Zn-Al-Cd）合金シート/箔/リボン
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    Nickel Aluminum Alloy Wire
    TSW1366 ニッケルアルミニウム合金線（Ni-Al合金線）
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    Aluminum Magnesium Alloy Wire (Al-Mg Alloy)
    TSW1367 アルミニウムマグネシウム合金線（Al-Mg合金）
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    ALUMINUM ALLOY 1050 Foil
    ALF1461 アルミニウム合金1050箔
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    ALUMINUM ALLOY 1100 Foil
    ALF1462 アルミニウム合金1100箔
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