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  • ST11173 リン酸ナトリウムスパッタリングターゲット、Na3PO4ターゲット

    • ST11173 リン酸ナトリウムスパッタリングターゲット、Na3PO4ターゲット

    カタログ番号 ST11173
    構成 Na3PO4
    形状 ラウンド
    フォーム ターゲット
    純度 ≥99.9%

    リン酸ナトリウムスパッタリングターゲット、Na3PO4 ターゲットは、高純度のリン酸ナトリウム組成を使用して設計され、均質性を維持するために制御された条件下で処理されます。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）は、ターゲットの微細構造をモニターするために、X線回折と表面完全性試験を含む厳密な材料特性評価を採用しています。このアプローチにより、スパッタリングプロセス中の欠陥を最小限に抑え、さまざまな蒸着用途で一貫した膜形成をサポートします。

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    FAQ

    リン酸ナトリウムの化学的コンシステンシーは成膜にどのような影響を与えますか？

    均一な化学組成により、スパッタリング時のばらつきを最小限に抑え、安定した膜厚と特性を実現します。この制御された組成は、エレクトロニクスや光学の精密用途に不可欠な、安定した薄膜品質の達成に役立ちます。

    このターゲットを使用するスパッタリング装置にはどのようなメンテナンスが推奨されますか？

    スパッタリングチャンバーの定期的な清掃とターゲットの侵食を監視することを推奨する。成膜性能を最適化し、装置の寿命を延ばすために、安定した真空環境を維持し、定期的にターゲットの表面異常を検査する。

    異なるスパッタリングシステムに適合させるため、ターゲット寸法のカスタマイズは可能ですか？

    はい、特定のシステム寸法やプロセス要件を満たすためのカスタマイズオプションがあります。カスタマイズの詳細については、お問い合わせください。

    最終推奨

    Calcium Nitride Powder (CAS No. 12013-82-0)
    NR0100 窒化カルシウム Ca3N2 粉末 (CAS 番号: 12013-82-0)
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    Calcium Fluoride Crystal (CaF2 Crystal)
    CY0105 フッ化カルシウム結晶（CaF2結晶）
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    Micro Calcium Hexaboride (CaB6) Powder (CAS NO. 12007-99-7)
    BR0228 マイクロ六ホウ化カルシウム(CaB6)パウダー (CAS NO. 12007-99-7)
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    Calcium Fluoride (CaF2) Windows
    OP0521 フッ化カルシウム（CaF2）ウィンドウズ
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    Calcium (Ca) Evaporation Materials
    VD0540 カルシウム（Ca）蒸発材料
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    Lanthanum Calcium Manganate (La0.67Ca0.33MnO3) Evaporation Materials
    VD0698 マンガン酸ランタンカルシウム(La0.67Ca0.33MnO3) 蒸発材料
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    VD0720 Praseodymium Calcium Manganate (Pr0.7Ca0.3MnO3) Evaporation Materials
    VD0720 プラセオジムマンガン酸カルシウム蒸発材料、Pr0.7Ca0.3MnO3
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    VD0775 Calcium Fluoride (CaF2) Evaporation Materials
    VD0775 フッ化カルシウム(CaF2)蒸発材料
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