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  • ST11177 コバルトロータリーターゲット、Coターゲット

    • ST11177 コバルトロータリーターゲット、Coターゲット

    カタログ番号 ST11177
    構成 Co
    純度 ≥99.99%以上、またはカスタマイズ
    フォーム ターゲット
    形状 チューブラー
    寸法 カスタマイズ

    コバルトロータリーターゲット、Coターゲットは、物理蒸着プロセス用にコバルトから製造されるスパッタリングターゲットです。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）では、電子顕微鏡とスペクトル分析法を用いて厳格な品質管理を行い、材料の純度と微細構造の一貫性を確認しています。SAMは、反復可能なバッチテストと校正された機器を使用し、各ターゲットがスパッタリング用途に特有の定義された組成と性能基準を満たしていることを保証します。

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    FAQ

    コバルト組成は成膜プロセスにおけるスパッタリング挙動にどのような影響を与えるのか？

    コバルト組成は、スパッタリング中の浸食速度と均一性に影響する。元素組成を制御することで、予測可能なエロージョンが保証され、これは半導体製造における安定した薄膜蒸着に不可欠です。詳細な処理ガイドラインについては、弊社までお問い合わせください。

    製造中の回転ターゲットの微細構造を制御するために、どのような対策がとられているか？

    製造工程では、校正された熱処理と、走査型電子顕微鏡を用いた後処理検査が行われる。これらのステップにより、微細構造の不一致を最小限に抑え、層の均一性と蒸着速度がアプリケーション固有の要件を満たすようにします。

    特定の機器要件に合わせて目標寸法をカスタマイズできるか？

    はい、寸法はカスタマイズされたオプションとして提供されます。お客様の蒸着装置との互換性を確保するために、必要なサイズをご指定いただけます。寸法カスタマイズの詳細については、お問い合わせください。

    最終推奨

    sc/1749821230-NN0247.jpg
    NN0247 ナノコバルト粉（Co） (CAS No. 7440-48-4)
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    Micro Cobalt Powder
    CP0248 マイクロコバルト粉（Co） (CAS No. 7440-48-4)
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    CT0985 Cobalt Foil (Co Foil)
    CT0985 コバルト箔（Co箔）
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    Cobalt Wire (Co Wire)
    CT0986 コバルトワイヤー（Coワイヤー）
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    Cobalt Sheet (Co Sheet)
    CT0988 コバルトシート（Coシート）
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    Cobalt Powder for Diamond Tools
    DT2774 ダイヤモンド工具用コバルトCoパウダー
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    Spherical Cobalt Powder
    CO4308 球状コバルトCo粉
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    Cobalt Rod
    CT7017 コバルト（Co）棒
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