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  • ST11178 鉄コバルトボロンロータリーターゲット、CoFeBターゲット

    • ST11178 鉄コバルトボロンロータリーターゲット、CoFeBターゲット

    カタログ番号 ST11178
    構成 CoFeB
    純度 ≥99.9%以上、またはカスタマイズ
    フォーム ターゲット
    形状 チューブラー
    寸法 カスタマイズ

    鉄コバルトボロンターゲット、CoFeBターゲットは、均一なスパッタリング特性を保証するために、制御された合金組成で製造されています。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）は、専用の真空アーク溶解を採用し、その後、材料の均一性を確認するために厳密なSEMおよびEDS分析を行います。この製品は、低圧スパッタリングプロセスにおける膜の均一性に影響を及ぼす可能性のある微細構造の不一致を低減するため、厳格な冶金学的条件の下で加工されます。

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    FAQ

    薄膜形成中のCoFeBターゲットのスパッタリング挙動に影響を与える要因は何か？

    スパッタリングの挙動は、合金の均一性、ターゲット密度、微細構造の特徴に影響される。これらのパラメーターの変動は、成膜速度と膜の均一性に影響する。SEMを用いた詳細な品質管理は、最適化された性能に必要な材料特性を確認するのに役立つ。

    ターゲットの回転設計は、スパッタリングプロセスにおける性能をどのように高めるのですか？

    回転式設計により、ターゲット表面全体にわたって均一な浸食が可能になり、局所的な過熱が減少し、均一な材料分布が維持されます。これにより、一貫した成膜特性が促進され、大きな基板全体に均一な成膜が要求される用途では特に重要です。

    CoFeBスパッタリングターゲットの寿命を延ばすために推奨されるメンテナンス方法は？

    表面の摩耗を定期的に検査し、スパッタリング中の適切な冷却を維持し、管理された保管条件に従うことが必要である。これらの実践は、汚染や物理的劣化を防ぎ、ターゲットの稼働寿命を延ばすのに役立ちます。詳細については、当社までお問い合わせください。

    最終推奨

    Aluminum cobalt master alloy
    AL1626 アルミニウム・コバルトマスター合金
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    Cobalt Aluminide (CoAl)
    CT1702 アルミニウムコバルト合金粉末
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    sc/1753086715-TH1886.jpg
    TH1886 ニッケルコバルト酸ランタン正極粉末（LNC正極粉末）
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    TH1887 Lanthanum Strontium Cobaltite Cathode Powder (LSC Cathode Powder)
    TH1887 ランタンストロンチウムコバルト正極粉（LSC正極粉）
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    Lanthanum Strontium Cobalt Ferrite Cathode Powder (LSCF Cathode Powder)
    TH1888 ランタンストロンチウムコバルトフェライトカソードパウダー（LSCFカソードパウダー）
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    Nimonic 90 Wire
    NC3483 ニモン90線
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    Nilo K Wire
    NK3517 ニロK線（ニッケル鉄合金）（Ni-Fe）
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    Spherical Mold Steel Alloy Powder
    NT4296 球状金型鋼合金粉末
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