ST11181 クロムアルミターゲット、CrAlターゲット

カタログ番号	ST11181
構成	Cr, Al
純度	≥99.8%以上、またはカスタマイズ
フォーム	ターゲット
形状	円形、長方形など
寸法	カスタマイズ

クロムアルミニウムスパッタリングターゲット、CrAlターゲットは、精密な薄膜蒸着プロセス用に設計されたスパッタリング材料です。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）は、元素組成を厳密に監視したターゲットを製造するために、高度なアーク溶解および真空処理技術を採用しています。製造工程には、表面の均一性と組成の一貫性を確認するための体系的な走査型電子顕微鏡（SEM）検査が含まれ、ターゲットが産業用途の厳しい技術仕様を満たしていることを保証します。

問い合わせ

概要

仕様

レビュー

FAQ

合金組成はスパッタリングプロセスの性能にどのような影響を与えますか？

ターゲット中の特定のクロムとアルミニウムのバランスは、成膜速度と膜の均一性に影響する。制御された組成は、スパッタリング中のばらつきを最小限に抑え、微細加工において一貫したステップカバレッジを達成する上で極めて重要である。

このターゲットを蒸着システムに組み込む場合、どのような対策を取るべきか？

冷却システムとマウントシステムがターゲットの熱特性に適合していることを確認することが重要です。適切なアライメントと取り扱いプロトコルは、アーク放電のリスクを低減し、一貫したフィルム品質を維持します。詳細な統合ガイドラインについては、弊社までお問い合わせください。

出荷前の品質確認はどのように行われるのか？

品質検証には、SEMによる表面形態検査とEDSによる組成分析が含まれる。これらの検査により、合金の均質性と精度が確認され、ターゲットが高性能蒸着プロセスの技術要件を満たしていることが保証される。

お見積り依頼

本日お問い合わせください。詳細をご確認いただき、最新の価格情報をご提供いたします。ありがとうございます！

物件名	値
組成 (Wt%)	Cr : Al=30:70、50:50、またはカスタマイズ
純度	≥99.8%以上、またはカスタマイズ
形状	ターゲット
形状	円形、長方形など
密度	2.98-4.55 g/cm3
熱伝導率	120-150 W/m.K
接着タイプ	インジウム, エラストマー
寸法	カスタマイズ

ST11181 クロムアルミターゲット、CrAlターゲット

クロムアルミニウムスパッタリングターゲット、CrAlターゲットの説明

クロムアルミニウムスパッタリングターゲット、CrAlターゲットの特性

クロムアルミニウムスパッタリングターゲット、CrAlターゲット用途

クロムアルミニウムスパッタリングターゲット、CrAlターゲット包装

追加情報

仕様

技術データシート

事例

カスタマーレビュー

FAQ

合金組成はスパッタリングプロセスの性能にどのような影響を与えますか？

このターゲットを蒸着システムに組み込む場合、どのような対策を取るべきか？

出荷前の品質確認はどのように行われるのか？

最終推奨

お見積り依頼

お困りですか？

人気カテゴリー

会社概要

特性	値
組成 (Wt%)	Cr : Al=30:70、50:50またはカスタマイズ
純度	≥99.8%以上、またはカスタマイズ
形状	ターゲット
形状	円形、長方形など
密度	2.98-4.55 g/cm3
熱伝導率	120-150 W/m.K
接着タイプ	インジウム, エラストマー
寸法	カスタマイズ