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  • ST11182 銅アルミ回転ターゲット、CuAlターゲット

    • ST11182 銅アルミ回転ターゲット、CuAlターゲット

    カタログ番号 ST11182
    構成 Cu、Al
    純度 ≥99.9%以上、またはカスタマイズ
    フォーム ターゲット
    形状 チューブラー
    寸法 カスタマイズ

    銅アルミニウムロータリーターゲット、CuAlターゲットは、均一な薄膜蒸着用に設計された銅アルミニウム合金から成るスパッタリングターゲットです。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）は、製造中にSEM検査を含む厳密な冶金分析を適用し、合金組成と構造の一貫性を検証します。このアプローチは、微細構造の完全性と表面仕上げを厳しく管理しながら、用途に応じたカスタマイズをサポートします。

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    FAQ

    ロータリーの設計はスパッタリングプロセスにおける膜の均一性にどのような影響を与えますか？

    回転式構成により、ターゲットの動的な露出が保証されるため、局所的な侵食が最小限に抑えられ、成膜中の均一な材料分布が促進される。この設計は、プロセスのばらつきを低減することで、大量スパッタリングにメリットをもたらします。詳細についてはお問い合わせください。

    合金の組成をモニターするために、どのような品質管理方法が実施されているか？

    SAMは、製造中に詳細な金属組織評価と走査型電子顕微鏡（SEM）を採用し、正確な合金組成と微細構造特性を検証することで、製造バッチ間の一貫性を確保しています。詳細についてはお問い合わせください。

    ターゲットの寸法を特定のスパッタリングシステム用にカスタマイズできますか？

    はい、寸法は様々なスパッタリングシステム要件に適合するようカスタマイズして提供されます。この柔軟性により、標準または特殊な成膜システムへの統合が可能になり、プロセスの互換性が向上します。詳細はお問い合わせください。

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