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  • ST11192 酸化インジウムスズ回転ターゲット、ITOターゲット

    • ST11192 酸化インジウムスズ回転ターゲット、ITOターゲット

    カタログ番号 ST11192
    構成 In2O3、SnO2
    純度 ≥99.99%以上、またはカスタマイズ
    フォーム ターゲット
    形状 チューブラー
    寸法 カスタマイズ

    インジウム-スズ酸化物ロータリーターゲット、ITOターゲットは、均一なスパッタリング性能をサポートするために、インジウムとスズの酸化物の制御されたブレンドを使用して製造されています。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ社（SAM）は、分光分析や定期的な材料の均質性チェックなど、厳格な品質評価を実施しています。同社のプロセスは、半導体およびオプトエレクトロニクス用途に必要な精密成膜をサポートするため、再現性と厳密な組成管理を重視しています。

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    FAQ

    スパッタリング性能において、ロータリーの設計はどのような役割を果たしますか？

    回転式デザインは、均一な材料消費を促進することで、局所的な加熱とターゲットの侵食を最小限に抑えます。これにより、ディスプレイや太陽電池製造などの用途で重要な、安定した成膜速度と膜の均一性が向上します。

    製造中、材料の組成はどのように確認されるのですか？

    組成は、分光測定技術とバッチ間化学分析を用いて検証される。この試験により、インジウム/スズ比の偏差が最小限に抑えられ、高出力スパッタリング条件下で一貫したターゲット特性が保証される。

    カスタマイズされた寸法は、設置の互換性に影響しますか？

    はい、カスタマイズされた寸法により、様々なスパッタリングシステムに適応できます。成膜チャンバーとの互換性を確保し、プロセスの一貫性を維持するために、お客様は装置の要件を指定する必要があります。詳細については、弊社までお問い合わせください。

    最終推奨

    sc/1749821242-NN1579.jpg
    NN1579 ナノ酸化インジウム粉末 (In2O3) (CAS No. 1312-43-2)
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    sc/1749821244-NN1580.jpg
    NN1580 ナノインジウム錫酸化物パウダー（ITOパウダー） (CAS No. 50926-11-9)
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    Nano Indium Hydroxide Powder (In(OH)3) (CAS No. 20661-21-6)
    NN1604 ナノ水酸化インジウム粉末 (In(OH)3) (CAS No. 20661-21-6)
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    Indium Sulfide (In2S3) Powder
    IN1853 硫化インジウム (In2S3) 粉末/塊 (CAS No.12030-24-9)
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    IN2331 Indium Chloride Powder (CAS No.10025-82-8)
    IN2331 粉末塩化インジウム (InCl3 )(CAS No.10025-82-8)
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    IN2332 Indium Hydroxide Powder (CAS No.20661-21-6)
    IN2332 水酸化インジウム粉末 (In(OH)3) (CAS No.20661-21-6)
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    Indium Oxide Powder (In2O3)
    IN2333 酸化インジウム粉末 (In2O3)(CAS No.1312-43-2)
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    IN2337 Indium Sulfate Powder (CAS No.13464-82-9)
    IN2337 硫酸インジウム粉末 (In2(SO4)3) (CAS No.13464-82-9)
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