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ST11194 マンガン回転ターゲット、Mnターゲット

カタログ番号 ST11194
構成 ムン
純度 ≥99.9%以上、またはカスタマイズ
フォーム ターゲット
形状 チューブラー
寸法 カスタマイズ

マンガンロータリーターゲット、Mnターゲットは、回転スパッタリングでマンガン膜を成膜するためのスパッタリングターゲットです。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ社(SAM)が開発したこの製品は、厳密に管理された材料純度と均一な結晶構造が特徴です。SAM社では、X線回折分析と表面検査を含む厳格な品質管理を行い、成膜中のばらつきを最小限に抑えています。このような工程管理は、スパッタリング用途における膜の均一性と一貫した性能の維持に貢献しています。

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概要
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FAQ

表面仕上げと材料純度はスパッタリングの均一性にどのような影響を与えますか?

きめ細かい表面仕上げと高い材料純度により、微粒子の発生が最小限に抑えられ、スパッタリング中の侵食速度がより均一になります。その結果、ターゲットに大きなばらつきが生じることなく、基板上により均一な成膜が可能になります。詳細については、弊社までお問い合わせください。

カスタマイズされた寸法は、ターゲット性能とプロセスの安定性にどのような影響を与えるのか?

カスタマイズされた寸法により、ターゲットは特定のスパッタリングシステム構成に適合し、膜厚の均一性と成膜速度の安定性を向上させる。この適応により、侵食速度とターゲット寿命の最適なバランスを達成することができます。詳細については、弊社までお問い合わせください。

汚染リスクを低減するために、どのようなスパッタリング前手順を推奨しますか?

短時間のコンディショニング実行を使用したプレスパッタリングにより、表面の汚染物質を除去し、実際の蒸着中の粒子放出を低減することができます。この処理は、ターゲットの侵食プロファイルを安定させ、プロセスの中断を最小限に抑えます。さらなるガイダンスについては、当社までお問い合わせください。

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