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  • ST11195 炭化モリブデン平面ターゲット、Mo2Cターゲット

    • ST11195 炭化モリブデン平面ターゲット、Mo2Cターゲット

    カタログ番号 ST11195
    構成 Mo2C
    純度 ≥99.9%以上、またはカスタマイズ
    フォーム ターゲット
    形状 長方形
    寸法 カスタマイズ

    炭化モリブデン平面ターゲット、Mo2Cターゲットは、薄膜蒸着用途向けに炭化モリブデン（Mo2C）から設計されたスパッタリングターゲットです。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）は、制御された粉末冶金法を採用し、SEMとXRDを用いた焼結後の検査により、微細構造の均一性と組成を監視しています。このアプローチは、ターゲット特性の偏差を最小限に抑え、一貫した成膜プロセスをサポートします。

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    FAQ

    Mo2Cターゲットの均一な平面構造は、成膜にどのような影響を与えるのか？

    平面構造は、スパッタリング中の局所的な膜厚のばらつきを最小限に抑えます。この均一性により、基板全体で一貫した膜特性を達成することができ、薄膜形成時のプロセス偏差を低減し、再現性を高めることができます。

    この目標に対して、どのような品質管理措置がとられているのか？

    SAMは、微細構造の一貫性と化学組成を検証するためにSEMとXRD技術を採用している。これらの測定は、ターゲットが特定の組成公差を満たしていることを保証するものであり、再現性の高いスパッタリングプロセスを実現する上で極めて重要である。

    ターゲットは特定のスパッタリングシステム用にカスタマイズできますか？

    ターゲット寸法はカスタマイズ可能です。この柔軟性により、エンドユーザーはターゲットを特定のスパッタリングチャンバー寸法および操作要件に適合させることができ、幅広い蒸着アプリケーションをサポートします。構成の詳細についてはお問い合わせください。

    最終推奨

    Molybdenum Trioxide Powder (MoO3 Powder) (CAS No. 1313-27-5)
    OX0095 三酸化モリブデン粉末 (MoO3 粉末) (CAS No. 1313-27-5)
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    Micro Molybdenum Carbide (Mo2C) Powder (CAS No. 12069-89-5)
    CA0201 マイクロ炭化モリブデン(Mo2C)パウダー (CAS No. 12069-89-5)
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    Micro Molybdenum Disilicide (MoSi2) Powder (CAS No. 12136-78-6)
    MU0236 二ケイ化モリブデン(MoSi2)微粉末 (CAS No. 12136-78-6)
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    Micro Molybdenum Disulfide (MoS2) Powder 200μm
    MU0239 二硫化モリブデン(MoS2)微粉末 200μm (CAS No: 1317-33-5)
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    Micro Molybdenum Disulfide (MoS2) Powder 1000μm
    MU0240 マイクロ二硫化モリブデン(MoS2)パウダー 1000μm (CAS No: 1317-33-5)
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    Molybdenum Disulfide Powder (MoS2 Powder) (CAS No. 1317-33-5)
    MCP1229 二硫化モリブデン粉末 MoS2 (CAS No: 1317-33-5)
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    Molybdenum Carbide Powder
    CA1391 炭化モリブデン粉末、Mo2C粉末 (CAS No. 12069-89-5)
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    Nano Molybdenum Trioxide Powder (MoO3) (CAS No. 1313-27-5)
    NN1583 ナノ三酸化モリブデン粉末 (MoO3) (CAS No. 1313-27-5)
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