ST11197 ニオブ平面ターゲット、Nbターゲット

カタログ番号	ST11197
構成	Nb
純度	≥99.95%以上、またはカスタマイズ
フォーム	ターゲット
形状	長方形
寸法	カスタマイズ

ニオブプラナーターゲット、Nbターゲットは、薄膜蒸着用の高純度ニオブから製造されるスパッタリングターゲットです。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）は、高度な材料処理プロトコルとX線回折や走査型電子顕微鏡などの表面特性評価技術を用いてこのターゲットを製造しています。SAMは、均一な組成と構造の一貫性を確認するために、複数の段階で厳格な検査手順を実施し、ターゲットが最新のスパッタリングシステムの厳しい要件を満たすことを保証します。

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FAQ

基板温度はニオブターゲットのスパッタリング性能にどのような影響を与えますか？

基板温度の変化は、膜の密着性と蒸着速度に影響する。温度が低いとアドアトムの移動度が低下し、膜の均一性が低下するが、加熱を制御すると膜密度が向上する。最適なプロセスチューニングのためには、制御された条件下での実験が望ましい。詳しくは弊社までお問い合わせください。

ニオブの純度はスパッタリングプロセスにどのような影響を与えるのですか？

ニオブの純度を高めることで、成膜中に微細構造欠陥を誘発する可能性のある汚染物質を最小限に抑えることができる。均一な膜形態と一貫した電気特性を促進します。表面分析による品質管理は、指定された純度レベルを維持するのに役立ちます。その他の技術サポートについてはお問い合わせください。

ターゲットの表面の完全性を保つためには、どのようなメンテナンスが推奨されますか？

SEMによる定期的な検査と非反応性溶剤による穏やかな洗浄により、表面の汚染を軽減することができる。マイクロスクラッチを防ぐため、研磨剤による洗浄方法は避ける。定期的なモニタリングにより、ターゲットは均一な組成を維持し、スパッタリングに有効です。詳細な推奨事項についてはお問い合わせください。

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ST11197 ニオブ平面ターゲット、Nbターゲット

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