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ST11198 ニオブ回転ターゲット、Nbターゲット

カタログ番号 ST11198
構成 Nb
純度 ≥99.95%以上、またはカスタマイズ
フォーム ターゲット
形状 チューブラー
寸法 カスタマイズ

ニオブロータリーターゲット、Nbターゲットは、制御された溶解および鍛造プロセスを使用して、純粋なニオブから製造されたスパッタリングターゲットです。 スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)は、材料の一貫性を監視するために、厳格な蛍光X線検査と金属組織検査を採用しています。ターゲットは、組成と形状を精密に制御して製造され、その物理的特性が薄膜蒸着に必要なスパッタリング要件に適合することを保証します。この制御された製造工程は、需要の高い成膜環境における最適なパフォーマンスをサポートします。

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概要
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FAQ

ニオブの純度はスパッタリング用途での性能にどのように影響するのか?

ニオブの純度を高めることで、スパッタリング時の微小欠陥や微粒子汚染を最小限に抑え、均一な成膜を実現。これにより、膜厚を厳密に制御し、膜の密着性を向上させることができる。技術的な詳細については、高真空環境での処理パラメータをご覧ください。

ニオブ回転ターゲットの保管条件は?

酸化や表面汚染を防ぐため、室温に制御された清潔で低湿度の環境でターゲットを保管する。スパッタリングシステムで使用する前に、材料の完全性を維持するために帯電防止包装と乾燥剤を使用することが望ましい。

特定のスパッタリングシステム用にターゲット寸法をカスタマイズできますか?

はい、寸法はカスタマイズ可能です。これにより、様々なスパッタリングセットアップに統合することができます。成膜装置との互換性を確保するため、ご注文の際に要件をご指定ください。

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