ニオブロータリーターゲット、Nbターゲットの説明
ニオブロータリーターゲット、Nbターゲットは、化学的に不活性で耐火性のニオブ(Nb)から製造されたスパッタリングターゲットです。そのカスタマイズされた寸法は、幅広い蒸着システムとの互換性を保証します。この材料は、高い融点特性と一貫した機械的挙動を示し、成膜速度と膜の均一性を維持するために極めて重要です。詳細な製造および品質検査方法は、半導体および微細加工用途の精密な材料特性をサポートします。
ニオブロータリーターゲット、Nbターゲットの特性
|
特性
|
値
|
|
組成
|
ニオブ
|
|
純度
|
≥99.95%以上、またはカスタマイズ
|
|
形状
|
ターゲット
|
|
形状
|
管状
|
|
密度
|
≥8.57 g/cm3 以上
|
|
熱伝導率
|
54 W/m-K
|
|
寸法
|
カスタマイズ
|
上記の製品情報は理論データに基づくものであり、あくまで参考です。実際の仕様は異なる場合があります。
ニオブロータリーターゲット、Nbターゲット用途
1.エレクトロニクスおよび半導体製造
- 半導体成膜のスパッタリングターゲットとして使用し、純ニオブの化学的不活性を利用して均一な薄膜を得る。
- 集積回路製造におけるコーティングソースとして使用され、一貫したターゲット組成による精密な膜厚制御をサポートする。
2.工業用コーティングプロセス
- ニオブの高融点を生かし、耐摩耗性コーティングを形成する物理蒸着システムの材料ベースとして使用される。
- 制御された膜構造が性能を向上させる産業機器の装飾的または機能的コーティング用途に使用される。
ニオブロータリーターゲット、Nbターゲットパッキング
ニオブロータリーターゲット、Nbターゲットは、物理的な損傷や汚染を防ぐため、クッション性のある発泡スチロールを敷き詰めた箱の中に、密封された帯電防止容器に梱包されています。保護シールにより、湿気や微粒子への暴露を最小限に抑えます。梱包デザインは、サイズやラベルのカスタマイズが可能で、保管ガイドラインでは、設置前に材料の完全性を保つために、清潔で温度管理された環境を推奨しています。
追加情報
ニオブは優れた耐食性と高融点で知られる耐火性金属で、高温処理に適しています。これらの特性は、電子機器や半導体デバイスの薄膜応用を目的としたスパッタリングターゲットを製造する際に不可欠です。成膜プロセスの性能は、基板とターゲットの純度と密接な関係があり、膜の均一性と加工収率に影響を与える。
材料科学の広い文脈では、ニオブの機械的および熱的特性は、高度なコーティングと表面工学での使用を最適化するために幅広く研究されている。これらの特性を理解することは、工業環境における処理パラメーターを調整し、システム全体の性能を向上させるのに役立ちます。