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ST11200 酸化ニオブ回転ターゲット、NbOxターゲット

カタログ番号 ST11200
構成 ネプツニウム
純度 ≥99.9%以上、またはカスタマイズ
フォーム ターゲット
形状 チューブラー
寸法 カスタマイズ

酸化ニオブ回転ターゲット、NbOxターゲットは、スパッタリング用途向けに制御された微細構造を達成するために、高度な焼結技術と精密機械加工技術を用いて製造されます。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)では、製品の欠陥を減らすため、詳細なX線回折分析と表面マッピングを行います。SAMでは、非鉄金属加工および触媒用途向けに設計された厳格な工程管理と反復可能な品質チェックを実施しています。

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FAQ

NbOxターゲットの均一性はスパッタリング成膜プロセスにどのような影響を与えるのか?

均一な微細構造により、スパッタリング速度が一定に保たれ、薄膜の均一性が向上します。これにより、成膜のばらつきを最小限に抑え、プロセスの再現性を高めます。その他の技術的詳細については、お問い合わせください。

NbOxターゲットの組成を確認する品質管理手段は?

ターゲットはX線回折と電子顕微鏡分析を受け、化学組成と微細構造の均一性を確認する。これらのテストは、製品が制御されたスパッタリングプロセスに要求される厳しい仕様を満たしていることを確認するのに役立ちます。詳細についてはお問い合わせください。

特定のスパッタリングシステムに合わせてターゲット寸法をカスタマイズできますか?

はい、ターゲットは様々なチャンバー構成に合わせてカスタマイズされた寸法で提供されます。カスタマイズされた加工は、標準的な装置や特定のプロセス要件との互換性を保証します。カスタマイズオプションについてはお問い合わせください。

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