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ST11201 ニッケル回転ターゲット、Niターゲット

カタログ番号 ST11201
構成 ニー
純度 ≥99.9%以上、またはカスタマイズ
フォーム ターゲット
形状 チューブラー
寸法 カスタマイズ

ニッケルロータリーターゲット、Niターゲットは、元素状ニッケルで作られたエンジニアリングスパッタリングターゲットです。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)社によって製造されたこの製品は、精密な冶金学的制御とスパッタリング用途向けの厳密な寸法公差で製造されています。SAMでは、製造中に詳細な密度測定と顕微鏡による表面評価を行い、材料の均質性を監視し、表面欠陥を排除することで、ターゲットが厳密な技術基準に適合することを保証しています。

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FAQ

ロータリーの設計は、スパッタリング・アプリケーションにおける成膜の均一性にどのような影響を与えますか?

回転機構は、ターゲット表面に均等に侵食を分散させます。この均一な材料除去は、局所的な加熱を最小限に抑え、成膜プロセス中の膜の均一性を高め、ターゲットの寿命を延ばします。

このターゲットにカスタマイズされた寸法を使用する利点は何ですか?

カスタマイズされた寸法により、様々なスパッタリングシステムとの統合が可能。ターゲットを特定のチャンバー形状に合わせることで、ユーザーは最適な成膜速度と基板全体で均一な膜厚を達成し、プロセスの調整を最小限に抑えることができます。

このニッケルターゲットの製造過程における品質管理はどのように行われているのですか?

品質管理には、光学顕微鏡を用いた厳密な密度チェックと表面検査が含まれます。これらの手順は、材料の均質性を確認し、表面の欠陥を検出し、ターゲットが定義された工業規格に準拠していることを保証します。詳しくはお問い合わせください。

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