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ST11202 ニッケルクロムロータリーターゲット、NiCrターゲット

カタログ番号 ST11202
構成 Ni、Cr
純度 ≥99.9%以上、またはカスタマイズ
フォーム ターゲット
形状 チューブラー
寸法 カスタマイズ

ニッケルクロムロータリーターゲット、NiCrターゲットは、スパッタリング蒸着プロセス用に最適化されたニッケルクロム合金から製造されています。回転式設計により、操作中の均一な浸食が促進され、成膜の一貫性を維持するために重要です。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)は、品質管理プロセスの一環として、蛍光X線組成分析と超音波検査を利用しています。カスタムターゲット製造におけるSAMの技術的専門知識は、各製品が先端薄膜アプリケーションの特定の寸法および組成要件を満たすことを保証します。

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FAQ

ロータリーの設計は、スパッタリングプロセス中のエロージョンの均一性にどのような影響を与えますか?

回転式構成は、ターゲット材料の均一な浸食を促進し、局所的なホットスポットの形成を抑え、長時間にわたって安定した蒸着速度を確保する。この設計は、基板上で一貫した薄膜特性を達成するのに役立ちます。詳細についてはお問い合わせください。

正確な合金組成を維持するために、どのような品質管理手順を実施していますか?

SAMでは、蛍光X線(XRF)分析と超音波検査を採用して、合金の組成と構造的完全性を検証している。これらの措置により、ターゲット材料がスパッタリング効率に必要な正確な組成基準を遵守していることが保証されます。お問い合わせはこちらまで。

異なるスパッタリングシステム用にターゲット寸法をカスタマイズできますか?

はい、ターゲットの寸法は様々なスパッタリングシステム構成に合わせてカスタマイズ可能です。カスタマイズにより、様々な成膜装置やプロセス仕様との統合が可能です。具体的な要件については、弊社までお問い合わせください。

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