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ST11204 ニッケルニオブロータリーターゲット、NiNbターゲット

カタログ番号 ST11204
構成 Ni, Nb
純度 ≥99.5%以上、またはカスタマイズ
フォーム ターゲット
形状 チューブラー
寸法 カスタマイズ

ニッケルニオブロータリーターゲット、NiNbターゲットは、スパッタリングアプリケーション用に設計されたニッケルニオブ合金から製造されています。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)社によって製造されたターゲットは、電子顕微鏡を使用した厳密な化学分析と表面品質検査を受け、合金の均質性と構造的完全性を確認します。SAM社では、重要な製造段階で定量的な計測を行い、寸法精度と材料組成を確認し、ターゲットが厳しいプロセス仕様に適合していることを保証しています。

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FAQ

ニッケル・ニオブの組成はスパッタリング性能にどのように影響するのか?

Ni-Nb合金の組成は、ターゲットの溶損と成膜の均一性に影響する。よく制御された合金は、組成のばらつきを最小限に抑え、長時間の運転でもスパッタリング収率が一定に保たれる。詳細な材料分析は、合金の均一性を確認するために用いられ、これは均一な薄膜成膜を必要とするアプリケーションにとって極めて重要である。

回転ターゲットの表面処理方法は?

ターゲットは通常、精密機械加工が施された後、制御された化学エッチングと表面形状測定が行われる。これらの工程は表面粗さを低減し、均一なスパッタリング収率を達成するのに役立つ。その後の顕微鏡分析により、仕上げが必要な技術公差を満たしていることが確認されます。

カスタマイズされた寸法は、スパッタリング装置との統合にどのような影響を与えますか?

カスタマイズされた寸法により、ターゲットは特定の装置のクランプおよび取り付け構成に適合します。これにより、運転中の最適な接触と効率的な熱分布が保証され、安定した蒸着速度とターゲット寿命の延長が可能になります。

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