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ST11206 鉛平面ターゲット、鉛ターゲット

カタログ番号 ST11206
構成
純度 ≥99.99%以上、またはカスタマイズ
フォーム ターゲット
形状 長方形
寸法 カスタマイズ

鉛平板ターゲット(Pbターゲット)は、薄膜蒸着用途に使用される鉛を主成分とするスパッタリングターゲットです。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)では、確立された冶金学的処理技術と光学顕微鏡を用いた厳密な表面検査を適用し、厳格な不純物管理を行っています。SAMのプロセスプロトコルには、バッチ間の検証テストが含まれ、平面表面が最適化されたスパッタリング性能のために定義された寸法および化学的基準を満たすことを保証します。

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概要
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FAQ

寸法のカスタマイズはスパッタプロセスにどのような影響を与えますか?

カスタマイズされた寸法により、ターゲットは特定のチャンバー要件に適合し、均一なプラズマ分布と成膜速度を保証します。このカスタマイズは、基板上の膜の均一性を最適化し、エッジ効果を低減し、全体的なプロセス制御を改善するのに役立ちます。

リード・プレーナー・ターゲットの製造工程では、どのような品質管理が行われていますか?

ターゲットは、平坦性と一貫性を保証するために、光学的および表面形状測定法を用いた厳格な検査を受けます。これらの評価により、化学的純度と寸法公差の両方が、蒸着性能を高めるために定義されたプロセス基準を満たしていることが検証されます。

この鉛ターゲットは、既存のスパッタリングシステムに改造なしで組み込むことができますか?

平面設計とカスタマイズ可能な寸法により、ターゲットは様々なスパッタリングセットアップに適応できます。特定の装置パラメータに基づいて調整が必要な場合がありますので、詳細な統合ガイドラインについてはお問い合わせください。

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