ST11214 タンタル平面ターゲット、Taターゲット

Stanford Advanced Materials (SAM)社は、自動鋳造と精密超音波洗浄、電子顕微鏡検査による品質管理を行っています。SAMのプロセスは、均一な組成を確保しながら微細構造の欠陥を最小限に抑え、工業用スパッタリングシステムでの効率的な成膜をサポートします。

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FAQ

高純度化によりインクルージョンが減少し、スパッタリング中の微粒子発生が最小限に抑えられる。ターゲット組成の一貫性により、基板全体で均一な薄膜成膜を実現します。その他の技術的詳細についてはお問い合わせください。

SAMは、微細構造の不規則性を特定するために、電子顕微鏡と超音波検査技術を採用している。これらの手段により、欠陥の早期発見が容易になり、ターゲット表面の完全性がスパッタリング用途の厳しい要求を満たすことが保証される。

はい、寸法および関連仕様は、さまざまなスパッタリングシステム設計に対応できるようカスタマイズ可能です。この柔軟性により、半導体製造やその他の薄膜蒸着アプリケーションにおける最適なターゲット利用やプロセス調整が可能になります。

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タンタル平面ターゲット、Taターゲットの説明