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ST11215 炭化タンタル平面ターゲット、TaCターゲット

カタログ番号 ST11215
構成 TaC
純度 ≥99.9%以上、またはカスタマイズ
フォーム ターゲット
形状 長方形
寸法 カスタマイズ

炭化タンタル平面ターゲット、TaCターゲットは、スパッタリング用途に適した均一な微細構造を生成するために、制御された反応焼結を用いて製造されます。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)は、品質管理プロセスにおいて電子顕微鏡とX線回折を採用し、組成公差と結晶粒構造を検証しています。この方法は、再現性のある成膜に必要な微細構造の一貫性を達成するのに役立ちます。

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FAQ

TaCターゲットの微細構造はスパッタリング性能にどのように影響するのか?

微細構造はスパッタの歩留まりと成膜の均一性に直接影響する。制御された粒度分布は、スパッタリング中の安定したエロージョンを可能にし、それによりパーティクルの発生を最小限に抑え、予測可能な薄膜特性を保証します。詳細はこちらまでお問い合わせください。

TaCターゲットの製造過程では、どのような品質管理方法が実施されていますか?

品質管理には電子顕微鏡とX線回折分析が含まれ、微細構造の完全性と組成の許容誤差を検証する。これらの評価により、粒径や密度のばらつきを検出し、ターゲットがスパッタリングプロセスの厳しい要件を満たしていることを確認します。お問い合わせはこちらまで。

カスタマイズ可能な寸法オプションは、スパッタリング装置との互換性にどのような影響を与えますか?

カスタマイズ可能な寸法により、ターゲットを特定のチャンバー形状に適合させることができます。この柔軟性により、成膜装置との適切なアライメントが保証され、スパッタリング中のターゲット表面の均一なエロージョンが促進されます。その他の技術仕様については、弊社までお問い合わせください。

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