ST11218 バナジウムロータリーターゲット、Vターゲット

カタログ番号	ST11218
構成	V
純度	≥99%以上、またはカスタマイズ
フォーム	ターゲット
形状	チューブラー
寸法	カスタマイズ

バナジウムロータリーターゲット、Vターゲットは、高純度バナジウムから製造されたスパッタリングターゲットです。スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ（SAM）は、XRDやSEM分析などの詳細な材料特性評価技術を採用し、微細構造の一貫性を監視しています。SAMの製造は、薄膜蒸着におけるバッチの一貫性と性能を管理するために、リアルタイムの合金組成検証を伴う制御された溶解と鋳造プロセスを組み込んでいます。

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概要

仕様

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FAQ

ロータリーの設計は、スパッタリングプロセスにおけるエロージョンの均一性にどのような影響を与えますか？

回転式設計により、ターゲット表面の均一な侵食が促進され、局所的な摩耗が最小限に抑えられます。その結果、工業用スパッタリングシステムで基板全体の薄膜特性を均一に保つために不可欠な、安定した成膜速度が得られます。技術的な詳細についてはお問い合わせください。

ターゲット表面の完全性を維持するためには、どのような洗浄手順が推奨されますか？

ターゲットの表面特性を変化させることなく残留物を除去するには、非研磨性の洗浄方法と溶剤ベースの洗浄を併用することが望ましい。このようなメンテナンス方法は、長時間のスパッタリング作業中にターゲットの性能を維持するのに役立ちます。詳しいガイダンスについてはお問い合わせください。

製造中のバナジウム組成を確認する品質管理手段は？

製造プロセスには、微細構造を調べるための定量的分光法とSEM分析が組み込まれている。これらの手段により、合金組成が定義された基準を満たしていることが保証され、これは意図されたスパッタリング性能を達成するために重要です。包括的な品質管理プロトコルについては、当社までお問い合わせください。

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ST11218 バナジウムロータリーターゲット、Vターゲット

バナジウムロータリーターゲット、Vターゲットの説明

バナジウムロータリーターゲット、Vターゲットの特性

バナジウムロータリーターゲット、Vターゲット用途

バナジウムロータリーターゲット、Vターゲットパッキング

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FAQ

ロータリーの設計は、スパッタリングプロセスにおけるエロージョンの均一性にどのような影響を与えますか？

ターゲット表面の完全性を維持するためには、どのような洗浄手順が推奨されますか？

製造中のバナジウム組成を確認する品質管理手段は？

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会社概要

パラメータ	値
組成	V
純度	≥99%以上、またはカスタマイズ
形状	ターゲット
形状	管状
密度	6.0 g/cm3
寸法	カスタマイズ
融点	1890℃

パラメータ	数値
構成	V
純度	≥99%以上、またはカスタマイズ
形状	ターゲット
形状	管状
密度	6.0 g/cm3
寸法	カスタマイズ