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ST11220 亜鉛ロータリーターゲット、Znターゲット

カタログ番号 ST11220
構成 亜鉛
純度 ≥99.99%以上、またはカスタマイズ
フォーム ターゲット
形状 チューブラー
寸法 カスタマイズ

亜鉛ロータリーターゲット、亜鉛ターゲットは、スパッタリング中に均一な表面侵食を達成するために制御された回転処理方法を使用して製造されています。 スタンフォード・アドバンスト・マテリアルズ(SAM)は、インライン組成検証と不純物制御のために発光分光法を適用しています。このアプローチは、材料のばらつきを最小限に抑え、厳格な寸法の一貫性をサポートし、ターゲットが高性能スパッタリングプロセスの特定の運用要件を満たすことを保証します。

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FAQ

ターゲットの回転設計は膜の均一性にどのような影響を与えますか?

ターゲットが回転することで、その表面での均一なエロージョンが促進され、蒸着膜の膜厚のばらつきが減少する。この効果は、大きな基板上に均一なコーティングを実現するために不可欠です。詳細な操作パラメーターについては、弊社までお問い合わせください。

製造工程における亜鉛の純度は、どのような品質管理で確認されるのですか?

生産では、発光分光分析と蛍光X線分析を利用して、元素組成と純度レベルを確認する。これらの方法は、亜鉛がスパッタリング用途に適した厳格な材料仕様を満たしていることを保証します。

ターゲットの寸法は、異なるスパッタリングシステムに適合させることができますか?

この設計は、様々な装置構成に適合するよう寸法をカスタマイズできるため、ターゲットの性能を損なうことなく、多様なスパッタリング・セットアップへの統合を容易にする。

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